课题基金 / 基金详情

超音速分子ビームによる機能性極薄膜作成プロセスの研究

超音速分子ビームによる機能性極薄膜作成プロセスの研究
超声分子束制备功能性超薄膜的工艺研究
批准号：
17656239
负责人：
吉越 章隆
金额：
$2.11万
依托单位：
Japan Atomic Energy Agency
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2005
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2005 至 2007
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-17656239/
关键词：
超音速分子線表面ナノ薄膜形成プロセス放射光リアルタイム光電子分光吸着過程並進運動エネルギー表面反応ダイナミクスSiその場観察固体表面放射光リアルタイム光電子分光"その場"観察表面反応ダイナミクス＆キネティクス極薄膜形成表面反応ダイナミクス&キネティクス極薄膜創製

项目摘要

项目成果

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翻译
本研究の目的は、超音速分子ビームを固体表面に照射して熱反応等では不可能な化学反応を誘起し、機能性極薄膜を形成する方法を探索するとともにその反応機構を解明することにある。多くの研究成果が得られたがその中で平成19年度においては、(i)Si(111)-7x7表面、(ii)Ge(001)-2x1表面の酸素吸着過程における酸素分子の並進運動エネルギーの効果を中心に調べた。Si(111)-7x7表面の室温、ガス吸着条件における酸化反応の01sおよびSi 2pリアルタイム光電子分光スペクトルの詳細な解析から、酸素結合
英文摘要
本研究の目的は、超音速分子ビームを固体表面に照射して熱反応等では不可能な化学反応を誘起し、機能性極薄膜を形成する方法を探索するとともにその反応機構を解明することにある。多くの研究成果が得られたがその中で平成19年度においては、(i)Si(111)-7x7表面、(ii)Ge(001)-2x1表面の酸素吸着過程における酸素分子の並進運動エネルギーの効果を中心に調べた。Si(111)-7x7表面の室温、ガス吸着条件における酸化反応の01sおよびSi 2pリアルタイム光電子分光スペクトルの詳細な解析から、酸素結合
期刊论文(63)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
The azimuthal dependent oxidation process on Cu(110) by energetic oxygen molecules
高能氧分子对 Cu(110) 的方位依赖氧化过程
DOI： --
发表时间： 2006
期刊： The European Physical Journal D 38
影响因子： --
作者： [Kousuke, Moritani]
通讯作者： Moritani
超音速酸素分子ビームによる並進運動エネルギー誘起Ti(0001)表面酸化反応
超音速氧分子束平移动能诱导Ti(0001)表面氧化反应
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： 電気学会論文誌C 127
影响因子： --
作者： [H.Nanjo, Z.Xia, Y.Yao, K.Minami, M.Nishioka, 小川 修一]
通讯作者： 小川 修一
Characterization of interface defects related to negative-bias temperature instability in ultrathin plasma-nitrided SiON/Si<100>systems
超薄等离子体氮化SiON/Si<100>系统中与负偏压温度不稳定性相关的界面缺陷表征
DOI： --
发表时间： 2005
期刊： Microelectronics Reliability 45
影响因子： --
作者： [S.Fujieda, Y.Miura, M.Saitoh, Y.Teraoka, A.Yoshigoe]
通讯作者： A.Yoshigoe
Real time observation of O_2 adsorption on SI(111)-7x7 at 300K by use of synchrotron radiation O1s and Si2p XPS
利用同步辐射O1s和Si2p XPS实时观察300K下SI(111)-7x7上O_2吸附
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [S.Ogawa, A.Yoshigoe, S.Ishizuka, Y.Teraoka, Y.Takakuwa, 吉越 章隆, 吉越 章隆, 山本 喜久, 中野 卓哉, 岡田 美智雄, 富樫 秀晃, 上浦 良文, 山本 喜久, Akitaka Yoshigoe]
通讯作者： Akitaka Yoshigoe
共 63 条
    シビアアクシデント回避に向けた二次元材料を活用した燃料被覆管の腐食抑制の研究
    • 批准号：
      24K01407
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.81万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      吉越 章隆
    • 依托单位：
      Japan Atomic Energy Agency
    Understanding and control of silicon surface oxidation by supersonic molecular beams and synchrotron radiation real-time photoelectron spectroscopy
    • 批准号：
      20K05338
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      吉越 章隆
    • 依托单位：
      Japan Atomic Energy Agency