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Understanding and control of silicon surface oxidation by supersonic molecular beams and synchrotron radiation real-time photoelectron spectroscopy

超声分子束和同步辐射实时光电子能谱理解和控制硅表面氧化

基本信息

批准号：
20K05338
负责人：
吉越章隆
金额：
$ 2.83万
依托单位：
Japan Atomic Energy Agency
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
起止时间：
2020-04-01 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

IoTやAIデバイスを活用したSociety5.0社会の実現のために情報通信機器の小型、高性能、省電力化は必須である。高機能電子デバイス機器を支える基本素子である電界効果型トランジスター(MOS-FET)には、シリコンの酸化絶縁膜が利用されており、その膜厚は原子数層となっている。その実現には、原子レベルで酸化反応を理解および制御することが不可欠である。本研究では、放射光表面分析と超音速酸素分子線を組み合わせてシリコン表面酸化の理解と制御を目指す。具体的には、酸素分子の並進エネルギーや酸素ガスによる酸化条件毎の生成酸化物をSPring-8の軟X線放射光光電子分光によって捉える。並進エネルギーによって酸素分子の解離吸着反応経路を変え、吸着状態や酸化物の違いから効率的な酸化膜形成や高品質酸化膜作成に必要なプロセス条件を探索する。令和4年度では、放射光軟X線リアルタイム光電子分光を使って、酸素ガスによるシリコン表面酸化（ドライ酸化）の酸化速度、酸化価数の温度、圧力、不純物（n型,p型）依存性を中心に測定し、表面吸着状態や界面歪と電子状態の関係を詳細に調べた。酸化に伴い酸化膜とシリコン基板界面で生じる放出シリコン原子と生成する欠陥が、酸化反応サイトとしてどのように機能するのかに注目して詳細に調べた。また、入射酸素分子の並進エネルギーによって分子状吸着酸素の生成を制御して、欠陥サイトとの反応を調べた。数百本におよぶ光電子スペクトルの精密高速解析に必要なプログラム開発を進めるとともに、金属材料などの酸化反応実験を並行して進めシリコン酸化反応との差異を通じて表面酸化反応の統一的理解に取り組み、論文等の成果の発表を進めた。

The IoT AI communication machine must be small, high-performance and power-saving when it is used actively in the Society5.0 society. High-power electronic equipment equipment supports the basic elements of the electrical industry, and the power generation equipment (MOS-FET) is used for acidification of the film. The thickness of the film is sensitive to the number of atoms. You can see that the atoms are acidified and understand that you can't owe it to you. In this study, the supersonic acid molecular structure was used to understand and control the surface acidification of supersonic acid molecules. The formation of acid compounds in the presence of specific acid molecules, acid At the same time, it is necessary to form a high-quality acidizing film through the desorption of acid molecules, the absorption of acid molecules, the formation of high-quality acidizing film and the formation of high-quality acidizing film. In 2004, the temperature, temperature, Acidizing is accompanied by acidizing film and substrate interface, which emits atoms to generate hydrogen, and acidizing reactions. the acidizing mechanism is effective. The molecular absorption of acid molecules and the absorption of acid molecules in the form of acid molecules to form a control device, and the absorption of acid molecules leads to the formation of acid molecules. Hundreds of photovoltaic systems are used for precision and high-speed analysis. It is necessary to improve the performance of high-speed analysis, anti-acidizing of metal materials and anti-acidizing of metal materials.