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新規プラズマ結晶化プロセスを用いた酸化チタンベース機能薄膜の作製と特性

采用新型等离子体结晶工艺制备二氧化钛基功能薄膜及其性能

基本信息

批准号：
18655085
负责人：
中島章
金额：
$ 2.24万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

平成19年度は酸化チタンベース透明導電膜の作製に重点的に取り組んだ。長谷川らはニオブをドープすることにより酸化チタンをITO並に低抵抗化できることを見出した。In地金の価格は透明導電膜への需要の増大とそれに伴う資源枯渇への危機感から高騰を続けている。このニオブドープ酸化チタンを有効に作製できればIT社会の持続的発展への寄与は極めて大きいと考えられ、アルコキシドと熱非平衡プラズマの組み合わせによる検討を実施した。ニオブのアルコキシドとチタンのアルコキシドは加水分解性が異なるため、ブトキシドを中心に、それぞれ数種類について所定の溶媒中で還流処理により複合アルコキシドを作製することを試みた。またプラズマ処理の前処理として、大気中もしくは真空中での真空紫外光照射処理の効果についても合わせて検討した。プラズマ処理によりアナターゼ単相が結晶化し、危惧されたニオブの偏析はみとめられなかった。しかしながら抵抗値は低下せず、導電膜にはならなかった。このとき、XPSで評価したチタンとニオブの価数は4価と5価で、還元状態はほとんど観察されなかった。このため水素アニール処理を行ったところ、抵抗値が低下し、導電性が認められた。しかしながら、未だ透明導電膜として十分に低い抵抗値にまでは到っていない。アルコキシドの見直しと並行して、プラズマ照射条件を検討しており、酸素分圧を下げた実験を行っている。酸素が少ない条件でニオブ添加酸化チタンをいかに効果的に結晶化させるかが今後の課題である。

In Pingcheng, the acidizing and transparent leading film is the key component of the acidizing process in 1900. Hasegawa Hasegawa has the ability to acidify the ITO and to reduce the resistance to the chemical reaction. In geotechnical power grid transparent guide film system needs to increase the level of risk and sense of crisis associated with the loss of resources. This is a good example of how to improve the performance of the IT Society. This is the most important part of the exhibition. This is not a good example. Do you know how to increase the amount of water-soluble chemicals in different kinds of solvents, such as water-soluble chemicals, and so on. In the air, vacuum ultraviolet light, vacuum, vacuum and vacuum. Please tell me that the phase is crystallized, and you are afraid that the phase will be segregated. It is necessary to resist the low temperature, the film and the film to prevent the loss of energy. Please count 4

项目成果

期刊论文数量（5）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Plasma treatment for crystallization of amorphous thin films

DOI：
10.1016/j.tsf.2005.07.244
发表时间：
2006-04
期刊：
Thin Solid Films
影响因子：
2.1
作者：
H. Ohsaki;Y. Shibayama;A. Nakajim;A. Kinbara;Takashi Watanabe
通讯作者：
H. Ohsaki;Y. Shibayama;A. Nakajim;A. Kinbara;Takashi Watanabe

Preparation of Cobalt-Titanium Dioxide Nanocomposite Films by Combining Inverse Micelle Method and Plasma Treatment

反胶束法与等离子体处理相结合制备钴-二氧化钛纳米复合薄膜

DOI：
发表时间：
期刊：
Mater. lett. (in press)
影响因子：
0
作者：
N.Arimitsu;A.Nakajima;Y.Kameshima;Y.Shibayama;H.Ohsaki;K.Okada
通讯作者：
K.Okada

Effects of Vacuum Ultraviolet Light Illumination and Seeding on Crystallization of Sol-gel-derived Titanium Dioxide Precursor Films using Plasma Treatment

真空紫外光照射和晶种对等离子处理溶胶凝胶衍生的二氧化钛前体薄膜结晶的影响

DOI：
发表时间：
2006
期刊：
Surf. Coatings Tech. 201
影响因子：
0
作者：
N.Arimitsu;A.Nakajima;Y.Kameshima;Y.Shibayama;H.Ohsaki;K.Okada
通讯作者：
K.Okada

Preparation of Cobalt-Titanium Dioxide Nanocomposite Films by Combining In verse Micelle Method and Plasma Treatment

反胶束法与等离子体处理相结合制备钴-二氧化钛纳米复合薄膜

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
Materials Letters 61
影响因子：
0
作者：
N. Arimitsu;A. Nakajima;Y. Kameshima;Y. Shibayama;H. Ohsaki;K. Okada
通讯作者：
K. Okada

Effects of Vacuum Ultraviolet Light Illumination on the Residual Stress in Sol-gel-derived Titanium Dioxide Films

真空紫外光照射对溶胶-凝胶法二氧化钛薄膜残余应力的影响

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
Chem. Lett. 36[1]
影响因子：
0
作者：
N.Arimitsu;A.Nakajima;K.Saitou;Y.Kameshima;K.Okada
通讯作者：
K.Okada

DOI：
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作者：
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作者：
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作者：
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中島章其他文献

「高分子電解質ブラシの特性と構造転移」

《聚合物电解质电刷的特性及结构转变》

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
0
作者：
T.Shibata;Y.Tahara;K.Tamura;K.Endo;チェンハオ・鹿毛崇至・松岡秀樹;中島章;松岡秀樹;原彰太・松本幸三・松岡秀樹;柴田高範;Hideki Matsuoka・Ploysai Kaewsaiha・Shuji Kage・Hao Chen;柴田高範;松岡秀樹
通讯作者：
松岡秀樹