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X線導波路現象を利用した有機薄膜高次構造のリアルタイム観測

利用X射线波导现象实时观察有机薄膜的高阶结构

基本信息

批准号：
18656003
负责人：
林好一
金额：
$ 2.11万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2008
项目状态：
已结题

项目摘要

放射光実験施設Photon FactoryのBL3Cにおいて、白色X線を用いたX線導波路の実験を行った。ここでは、Si/PMMA/Siの多層膜を作製し、白色X線を薄膜試料に照射し、薄膜端面から放出されるX線をエネルギー分散型X線検出器によって観測した。PMMA層においてX線の共鳴現象を起こすため、薄膜端面からのX線は分光され、TE(transverse electric)0、TE1、TE2の3つの共鳴モードのピークを観測することができた。また、これらのピークのエネルギー値は、薄膜の高次構造に大きく影響されるため、エネルギー値を解析することによって、薄膜の膜厚、密度を精度よく決定することができる。さらに、本年度は、リアルタイムで、X線導波路現象によるX線スペクトルの変化を観測することによって、薄膜の高次構造の素早い時間変化を追うことを試みた。一つのスペクトルの測定時間は10秒である。上記試料に対し、強力な放射光白色X線を照射することにより、即座に試料の変性が開始され、約200秒後に短時間で、その変化が完了することがわかった。ここでは、特に、TE2のピークのシフト量がTEOのものより大きいことが特徴的であった。このことより、PMMA層の密度は大きく変化せず、膜厚のみが変性したことが示された。標準のX線反射率測定装置も用い、詳細に解析した結果、元々膜厚100nm程度であったものが、約10%程度小さくなり90nm程度になることが観測された。今回の実験から、白色X線を用いたX線導波路現象による分光X線の観測が、薄膜高次構造のリアルタイム観測に非常に有望であることが判明した。

The radiation device is used for Photon Factory BL3C transmission, and the white X-ray is used to guide the wave path. The surface of the film, the Si/PMMA/Si film, the white X film, the end face of the film, the dispersed X-ray emitter, the white X film, the white film, the film material, the film end face, the dispersed X film, the film. PMMA (transverse electric) 0, TE1, TE2 (3) X-ray Spectroscopy, X-Ray Spectroscopy, X-ray Spectroscopy, X- The thickness of the film, the density of the film, the accuracy of the film, the thickness of the film, the density of the film, the thickness of the film, the density of the film, the thickness of the film, the accuracy of the density of the film, the thickness of the film, the accuracy of the density of the film, the thickness of the film, the accuracy of the density of the film, the thickness of the film, the accuracy of the density, the accuracy of the film. For the first time, this year's production, this year's production, the X-ray guided wave route, and the high-quality thin-film production system have been used to improve the performance of the system. The test time is 10 seconds off the clock. On the material temperature, the intensity of light white X-ray exposure, that is, the starting temperature of the material, about 200 seconds later, after a short period of time, the temperature has been tested. This is the first time to measure the number of people in the TEO market. This is the first time that you have to measure the number of people you need to know. The thickness of the film, the density of the film, the thickness of the film, the density of the film, the density of the film, the thickness of the film, the density of the film, the density of the film, the thickness of the film, the thickness of the film, the density of the film, the thickness of the film, and the thickness of the film. The standard X-ray reflectance measurement device is used, the results of the results are analyzed, the 100nm thickness of the film is different from that of the standard X-ray reflectance measurement device, and about 10% of the film thickness is less than that of 90nm. This time, the white X-ray is used to guide the wave path, such as the X-ray spectrum, the high-speed production of the film, the accuracy of the film, and the accuracy of the film.

项目成果

期刊论文数量（10）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Observation of Reflected X-Rays from End Face of Organic Thin Film

有机薄膜端面反射X射线的观察

DOI：
发表时间：
2007
期刊：
Journal of Physics: Conference Series 83
影响因子：
0
作者：
K. Hayashi;T. Yamamoto;T. Nakamura;et. al.
通讯作者：
et. al.

X-Ray waveguide phenomenon of pentacene thin film

并五苯薄膜的X射线波导现象

DOI：
发表时间：
2006
期刊：
KEK-Proceedings 2006-3 ("'Buried' Interface Science with X-Rays and Neutrons") 2006-3
影响因子：
0
作者：
K.Hayashi;K.Sakai;S.Nishikata;G.Sazaki
通讯作者：
G.Sazaki

Calculation of feasibility of grazing-incidence x-ray fluorescence as a method for holographic analysis

掠入射 X 射线荧光作为全息分析方法的可行性计算