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X線多重全反射現象を利用した薄膜界面の高感度構造評価

利用 X 射线多次全内反射现象对薄膜界面进行高灵敏度结构评估

基本信息

批准号：
14655226
负责人：
林好一
金额：
$ 2.11万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2003
项目状态：
已结题

项目摘要

有機薄膜試料に、極低角で白色X線を照射すると導波路現象を起こし、フラウンホーファー回折現象により特定出射角方向に単色化されたX線が放出されることが平成14年度の研究により明らかになった。この単色X線のエネルギー及び方位は、薄膜の密度及び膜厚などのパラメーターに対して非常に敏感であるために、高感度な薄膜高次構造の解析法となり得る。また、このフラウンホーファー回折を一瞬に測定することにより、例えば、薄膜堆積時における薄膜高次構造をその場で観測することも可能となる。このため、平成15年度は、従来システムにイメージングプレートを組み込み、これを二次元的に観測することのできるようにした。本システムを用いて、Siウエハー上に蒸着した銅フタロシアニン(CuPc)薄膜のフラウンホーファー回折の測定に成功した。また、薄膜に対するX線の入射角を変えることにより、フラウンホーファー回折パターンが徐々に変化していくことも観測された。同様に、トリトリアコンタン(n-C_<33>H_<68>)試料を用いて測定したが、蒸着直後の試料に対しては、フラウンホーファー回折は観測されず、融点温度以下でアニーリング処理を施したものに対しては、明瞭に観測された。これは、蒸着直後試料は表面ラフネスが大きく、それがアニーリング処理によって小さくなったことが理由であると考えられる。

The film material with the machine, the extremely low-angle white X-ray beam, the wave path of the laser, the wave path of the laser, the color of the film in the direction of the specific angle of discharge, the color of the film, the color, the color, the color, The density and thickness of the film, the density of the film, the thickness of the film, the density and thickness of the film. In order to improve the performance of the system, the system is used to determine the accuracy of the system, as well as the high quality of the film when the film stack is active. In the first half of the year, the first year, the third year, the third year, the second year. In this device, the Si device is steamed with a thin film (CuPc) that is successfully folded. The thin film, the X-ray, the incident angle, the angle of incidence, the angle of incidence. This is the same as the temperature measurement, the temperature adjustment, the temperature measurement, the temperature adjustment, the temperature measurement, the temperature adjustment and the melting point. After steaming and steaming, the surface of the material is full of steam, and the surface of the material is not clear, and the reason is not good enough.