课题基金 / 基金详情

集積化薄膜ライブラリによるコンビナトリアル材料評価

集積化薄膜ライブラリによるコンビナトリアル材料評価
使用集成薄膜库进行组合材料评估
批准号：
19656066
负责人：
秦 誠一
金额：
$2.05万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19656066/
关键词：
ナノ材料コンビナトリアル手法薄膜材料評価

项目摘要

项目成果

秦 誠一的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
薄膜ライブラリ上に1,089個集積されている1mm角,厚さ数μm程度の微小サンプルで,以下の物性を測定する方法を考案し,基礎検討をシミュレーションおよび実験により行った.(1)線膨張係数,縦弾性係数安定で既知の材料として,窒化シリコンを用い,長さ100〜500μmのカンチレバーを基板上に作成し,その上にサンプルとなる薄膜を成膜した.このサンプルを加熱し,そのたわみを上記と同様にCCDカメラで測定しながら加熱することでバイメタル効果によるカンチレバーのたわみを観測し,熱膨張係数,縦弾性係数を測定する方法を検討した.実験とシミュレーションにより測定精度などを検討し,縦弾性係数は誤差が大きいものの,線膨張係数については,十分な精度で測定できることを明らかとした.(2)結晶化開始温度薄膜ライブラリ上のサンプルの結晶化開始温度を測定する方法として,結晶化に伴う放射率の変化に注目し,加熱中のサンプルを赤外線カメラ(サーモグラフィ)により観察し,その見かけ温度の変化を検出する方法を考案した.PtSiアモルファス合金を用いた基礎検討の結果,従来の結晶化開始温度測定方法である示差走査熱量計とほぼ同じ結晶化開始温度を測定できることが明らかとなった.
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Behavior of joining interface between thin film metallic glass and silicon nitride at heating
DOI： 10.1016/j.mseb.2007.09.077
发表时间： 2008-02
期刊： Materials Science and Engineering B-advanced Functional Solid-state Materials
影响因子： 3.6
作者： [S. Hata;Ryusuke Yamauchi;J. Sakurai;A. Shimokohbe]
通讯作者： S. Hata;Ryusuke Yamauchi;J. Sakurai;A. Shimokohbe
Basic Research on Combinatorial Evaluation Method for Coefficient of Thermal Expansion
热膨胀系数组合评价方法的基础研究
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Y. Aono, S. Hata, J. Sakurai, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe]
通讯作者： H. Tachikawa and A. Shimokohbe
MEMS材料のコンビナトリアル評価-線膨張係数と縦弾性係数の同時評価法-
MEMS材料的组合评价-线膨胀系数和纵向弹性模量的同时评价方法-
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Y. Aono, S. Hata, J. Sakurai, R. Yamauchi, H. Tachikawa and A. Shimokohbe, 青野祐子・秦 誠一・桜井淳平・山内隆介・下河辺 明]
通讯作者： 青野祐子・秦 誠一・桜井淳平・山内隆介・下河辺 明
In situ analysis of the thermal behavior in the Zr-based multi-component metallic thin film by pulsed laser deposition combined with UHV-laser microscope system
脉冲激光沉积结合超高真空激光显微镜系统原位分析锆基多元金属薄膜的热行为
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Materials Science & Engineering B 148
影响因子： --
作者： [Yuji Matsumoto, Miki Hiraoka, Masao Katayama, Seiichi Hats, Mikio Fukuhara, Takeshi Wada, Hisamichi Kimura and Akihisa Inoue,]
通讯作者： Hisamichi Kimura and Akihisa Inoue,
高機能金型材料の創成とそのナノ加工
  • 批准号：
    19360063
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $12.48万
  • 财政年份：
    2007
  • 负责人：
    秦 誠一
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
アークプラズマコンビ法による新しい薄膜金属ガラスの超効率的創成とその加工
  • 批准号：
    16686010
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $19.39万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    秦 誠一
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
2自由度高速マイクロアクチュエータの研究
  • 批准号：
    13750212
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $1.47万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    秦 誠一
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
薄膜金属ガラスの研究
  • 批准号：
    12875116
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2000
  • 负责人：
    秦 誠一
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
海外基金