アークプラズマコンビ法による新しい薄膜金属ガラスの超効率的創成とその加工

使用电弧等离子体组合方法超高效地制造和加工新型薄膜金属玻璃

• 批准号: 16686010
• 负责人: 秦 誠一
• 金额: $ 19.39万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2004 至 2005
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16686010/
• 关键词: コンビナトリアルマテリアル法; 微細加工; 薄膜; アモルファス; 金属ガラス; 薄膜ライブラリ; 物性; アークプラズマ; 集積化ライブラリ

(1)過冷却液体域評価用機能化評価基板の作成シリコン基板上に窒化シリコンで製作したカンチレバーを多数有する機能化評価基板を製作し,そのカンチレバー上にコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法で組成の異なる多数のサンプル群を製作することで,サンプル薄膜と窒化シリコンとのバイメタルのカンチレバーを作製した.このカンチレバーの変位をCCDによる画像処理により測定しながら加熱し,サンプル薄膜のガラス転移温度,結晶化開始温度,熱膨張係数を測定する方法を考案し,実証実験に成功した.(2)超厚膜金属ガラス,高強度薄膜金属ガラスのコンビナトリアルアークプラズマ蒸着装置による超効率探査高強度薄膜金属ガラスとして,Mo,Ir,Ru系の薄膜金属ガラスの探索を,コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法を用いて行った.Mo,Ir系では,十分な強度を有する薄膜金属ガラスを見出すことは出来なかったが,Ru系においては,引張強度1.89GPa,ヤング率98GPaの高強度薄膜金属ガラスを発見した.(3)新しい金属ガラスの加工法開発薄膜金属ガラスの新しい加工法として,窒化銅,窒化アルミを用いたマイクロブロー成形による微細三次元構造体の製作を検討し,直径100μmのマイクロドームを100個集積した微細構造や,段付きメンブレン構造を有するマイクロ流体アクチュエータなどを試作した.また,シリコン金型や精密研磨球を金型とした転写加工による精密成形などを検討し,精密金型への応用が可能であることを示した.

(1) a review 価 cooling fluid domain with the function evaluation 価 substrate の シ リ コ ン substrate に smothering the シ リ コ ン で making し た カ ン チ レ バ ー を majority have す る function evaluation 価 substrate を し, そ の カ ン チ レ バ ー on に コ ン ビ ナ ト リ ア ル ア ー ク プ ラ ズ マ steamed method of で の different な る most の サ ン プ ル group を making す る こ と で, サ ン プ ル film と smothering the シ リ コ ン と の バ イ メ タ ル の カ ン チ レ バ ー を cropping し た. こ の カ ン チ レ バ ー の - a を CCD に よ る portrait 処 Richard に よ り determination し な が ら heating し サ ン プ ル film の ガ ラ ス planning temperature, crystallization start temperature, thermal expansion coefficient を す る method し を test case, be card be 験 に successful し た. (2) the ultra thick Membrane metal ガ ラ ス, high strength thin film metal ガ ラ ス の コ ン ビ ナ ト リ ア ル ア ー ク プ ラ ズ マ steamed device に よ る super working rate of detection of high strength thin film metal ガ ラ ス と し て, Mo, Ir, Ru is の thin-film metal ガ ラ ス の explore を, コ ン ビ ナ ト リ ア ル ア ー ク プ ラ ズ マ を steamed method with い て line っ た. Mo, Ir system で は, very strong な Degrees を have す る thin-film metal ガ ラ ス を shows す こ と は out な か っ た が, Ru is に お い て は, extension and strength 1.89 GPa, ヤ ン グ rate 98 GPa の high strength thin film metal ガ ラ ス を 発 see し た. (3) new し い metal ガ ラ ス の processing method open 発 thin-film metal ガ ラ ス の new し い processing method と し て, smothering a copper, smothering the ア ル ミ を use い た マ イ ク ロ ブ ロ ー forming に よ る imperceptible three yuan constructs の making を 検 for し, 100 microns in diameter の マ イ ク ロ ド ー ム を 100 sets product し た fine-structure や, period of pay き メ ン ブ レ ン a す を construction る マ イ ク ロ fluid ア ク チ ュ エ ー タ な ど を attempt し た. ま た, シ リ コ ン type gold や precision grinding ball を gold と し た planning to write for processing に よ る precision forming な ど を 検 for し, precision type gold へ の 応 may use が で あ る こ と を shown し た.

项目成果

カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成I

使用阴极电弧等离子体沉积的组合材料合成 I

• 发表时间: 2005
• 期刊: 2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集
• 作者: 秦 誠一;山内隆介;桜井淳平;下河邉 明
• 通讯作者: 下河邉 明

Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials

薄膜金属玻璃作为新型 MEMS 材料

• 发表时间: 2005
• 期刊: Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005
• 作者: Seiichi Hata;Junpei Sakurai;Akira Shimokohbe
• 通讯作者: Akira Shimokohbe

熱特性測定装置, 及び熱特性測定方法

热特性测量装置及热特性测量方法

• 发表时间: 2005