アークプラズマコンビ法による新しい薄膜金属ガラスの超効率的創成とその加工

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(1)過冷却液体域評価用機能化評価基板の作成シリコン基板上に窒化シリコンで製作したカンチレバーを多数有する機能化評価基板を製作し,そのカンチレバー上にコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法で組成の異なる多数のサンプル群を製作することで,サンプル薄膜と窒化シリコンとのバイメタルのカンチレバーを作製した.このカンチレバーの変位をCCDによる画像処理により測定しながら加熱し,サンプル薄膜のガラス転移温度,結晶化開始温度,熱膨張係数を測定する方法を考案し,実証実験に成功した.(2)超厚膜金属ガラス,高強度薄膜金属ガラスのコンビナトリアルアークプラズマ蒸着装置による超効率探査高強度薄膜金属ガラスとして,Mo,Ir,Ru系の薄膜金属ガラスの探索を,コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法を用いて行った.Mo,Ir系では,十分な強度を有する薄膜金属ガラスを見出すことは出来なかったが,Ru系においては,引張強度1.89GPa,ヤング率98GPaの高強度薄膜金属ガラスを発見した.(3)新しい金属ガラスの加工法開発薄膜金属ガラスの新しい加工法として,窒化銅,窒化アルミを用いたマイクロブロー成形による微細三次元構造体の製作を検討し,直径100μmのマイクロドームを100個集積した微細構造や,段付きメンブレン構造を有するマイクロ流体アクチュエータなどを試作した.また,シリコン金型や精密研磨球を金型とした転写加工による精密成形などを検討し,精密金型への応用が可能であることを示した.