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(AlGa)As超格子の混晶化の制御による多次元超格子の研究

控制(AlGa)As超晶格混合结晶的多维超晶格研究

基本信息

批准号：
62460116
负责人：
川辺光央
金额：
$ 4.67万
依托单位：
University of Tsukuba
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
财政年份：
1987
资助国家：
日本
起止时间：
1987 至 1989
项目状态：
已结题

项目摘要

(AlGa)As超格子の混晶化を利用した超格子多次元化の方法として、混晶化促進物質(本研究ではSi)と混晶化抑制物質(本研究ではBe)の併用により急峻な超格子-混晶化領域の境界が得られることがわかった。混晶化抑制部分にBeをストライプ状に蒸着し、その上にマスクを付けてSiの選択イオン注入を行ない、Be拡散部分とSi注入部分を分離して、ストライプ状の超格子部分と混晶化部分の分離ができることがわかった。Be蒸着量は、混晶化抑制条件から1×10^<15>cm^<-2>必要であるが、熱処理によるBeの拡散で超格子結晶の劣化が心配される。フォトルミネッセンス(PL)測定の結果、Be蒸着後800℃、1.5時間の熱処理でもPLの劣化は認められなかった。表面約1000A以内の超格子は不純物拡散によっても混晶化しないことがわかり、これは表面で超格子のパタ-ン化を行なう場合重要な問題である。この原因は、混晶化において重要な働きをしているGa空格子の濃度が、表面におけるフェルミレベルのピン止めによって十分大きくならないため表面でAlとGaの相互拡散が十分行なわれていないことによる。したがって、混晶化を用いた超格子の多次元化は、表面から少なくとも1000A以上離れた場所に埋め込んで行なう必要があることがわかった。イオンビ-ムによる微細加工と表面空乏層を利用してGaAs量子細線を作製し、磁気抵抗のゆらぎおよびシュブニコフ・ドハ-ス振動の観測から、電気伝導機構にエッジ状態の考え方を導入して磁場による電気伝導機構の変化が説明できることを示した。

(AlGa) As superlattice "mixed crystallization" uses the method of superlattice multiple crystallization (Si), the inhibitor of mixed crystallization (Be), and the boundary of the field of superlattice-mixed crystallization. The suppression part of the mixed crystallization is steamed, the Si is selected to be injected into the line, the scattered part of the Be is separated from the Si injection part, and the superlattice part is separated from the superlattice part of the mixed crystallization part. Be evaporation capacity, mixed crystallization inhibition condition 1 × 10 ^ & lt;15> cm ^ & lt;-2> necessary to test, analyze and analyze the Be dispersion superlattice structure and the deterioration of the core matching temperature. The results of PL test were tested. After Be was steamed, the PL was degraded at 800C for 1.5 hours. Within 1000A of the surface, the superlattices do not need to be dispersed or mixed crystallized. The superlattices and the superlattices on the surface are very important. Cause, mixed crystallization, critical temperature, Ga space grid temperature, surface temperature, temperature It is necessary to use the superlattice, the superlattice, the surface, the surface, the temperature, the temperature and the temperature. The vacuum on the surface of the micro-machining equipment is based on the use of the GaAs quantum wire, the magnetic resistance, the vibration, the electronic guidance, and the magnetic field, and the electronic guidance organ is registered in the magnetic field, the electronic and electronic authority.