Development of the thermal contact sensor for inspection of defects on wafer surface

开发用于检测晶圆表面缺陷的热接触传感器

基本信息

  • 批准号：
    23860005
  • 负责人：
    SHIMIZU Yuki
  • 金额：
    $ 1.91万
  • 依托单位：
    Tohoku University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
  • 财政年份：
    2011
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2011 至 2012
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

A feasibility of newly-proposed concept for the detection of small defects on smoothly-finished surfaces has been investigated. An estimated temperature rise of the thermal element, which would detect small amount of frictional heat due to contact with a defect was analyzed based on FEM simulations. In addition, experiments were carried out with fabricated prototype of the thermal element to confirm the feasibility of the proposed concept.
已经研究了新提出的用于检测光滑表面上的小缺陷的概念的可行性。基于有限元模拟，分析了热元件的估计温升，该热元件将检测由于与缺陷接触而产生的少量摩擦热。此外，还对热元件的制造原型进行了实验，以证实所提出概念的可行性。

项目成果

期刊论文数量（23）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
平滑面検査装置
光滑表面检查装置
  • DOI：
  • 发表时间：
    2012
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
  • 通讯作者：
ステージ機構およびその駆動方法
载物台机构及其驱动方法
  • DOI：
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
  • 通讯作者：
表面欠陥検出向け接触型熱検知素子の試作
用于表面缺陷检测的接触式热敏元件原型
  • DOI：
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    T. Kimura;S. Matsuyama;Y.Nishino;K. Yamauchi;柴田圭,浦部達広,山口健,堀切川一男;盧文剣，清水裕樹，大場裕太，高偉　（清水裕樹）
  • 通讯作者：
    盧文剣，清水裕樹，大場裕太，高偉　（清水裕樹）
東北大学, 大学院 工学研究科, ナノメカニクス専攻 高・清水・伊東研究室
东北大学工学研究科、纳米力学系、清水隆、伊藤实验室
  • DOI：
  • 发表时间：
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
  • 通讯作者：
ウエハ表面のナノレベル欠陥検出向け接触型マイクロ熱検知センサの原理検討
晶圆表面纳米级缺陷检测的接触式微热检测传感器原理研究
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  • 作者：
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  • 作者：
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  • 通讯作者：
    CHENG Jun
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  • 通讯作者：
    水野　初

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