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Development of the thermal contact sensor for inspection of defects on wafer surface

Development of the thermal contact sensor for inspection of defects on wafer surface
开发用于检测晶圆表面缺陷的热接触传感器
批准号：
23860005
负责人：
SHIMIZU Yuki
金额：
$1.91万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23860005/
关键词：
接触センサ摩擦熱デフェクトウエハ検査FEM

项目摘要

项目成果

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A feasibility of newly-proposed concept for the detection of small defects on smoothly-finished surfaces has been investigated. An estimated temperature rise of the thermal element, which would detect small amount of frictional heat due to contact with a defect was analyzed based on FEM simulations. In addition, experiments were carried out with fabricated prototype of the thermal element to confirm the feasibility of the proposed concept.
期刊论文(23)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
平滑面検査装置
光滑表面检查装置
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
ステージ機構およびその駆動方法
载物台机构及其驱动方法
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
表面欠陥検出向け接触型熱検知素子の試作
用于表面缺陷检测的接触式热敏元件原型
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Kimura, S. Matsuyama, Y.Nishino, K. Yamauchi, 柴田圭,浦部達広,山口健,堀切川一男, 盧文剣，清水裕樹，大場裕太，高偉　（清水裕樹）]
通讯作者： 盧文剣，清水裕樹，大場裕太，高偉　（清水裕樹）
東北大学, 大学院 工学研究科, ナノメカニクス専攻 高・清水・伊東研究室
东北大学工学研究科、纳米力学系、清水隆、伊藤实验室
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 12 条
    The construction of cross-cultural model on the development of automatic person perception: Exploring differences between Japan and U.S.(Fostering Joint International Research)
    • 批准号：
      15KK0075
    • 项目类别：
      Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research)
    • 资助金额：
      $9.4万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      SHIMIZU Yuki
    • 依托单位：
      Saitama University
    The construction of cross-cultural model on the development of automatic person perception: Exploring differences between Japan and U.S.
    • 批准号：
      26380868
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      SHIMIZU Yuki
    • 依托单位：
      Saitama University
    Defect detection method utilizing micro-thermal balance at the nanometric gap for nanometric-smooth surface inspection
    • 批准号：
      25820030
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      SHIMIZU Yuki
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Trigger system for high energy cosmic ray measurement
    海外基金