Defect detection method utilizing micro-thermal balance at the nanometric gap for nanometric-smooth surface inspection

利用纳米级间隙处的微热天平进行纳米级光滑表面检测的缺陷检测方法

基本信息

  • 批准号：
    25820030
  • 负责人：
    SHIMIZU Yuki
  • 金额：
    $ 2.75万
  • 依托单位：
    Tohoku University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 财政年份：
    2013
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2013-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Design and testing of a contact-type micro thermal sensor for defect inspection on nanometric smooth surfaces
用于纳米光滑表面缺陷检测的接触式微型热传感器的设计与测试
  • DOI：
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Y. Shimizu;Y. Ohba;W. Gao
  • 通讯作者：
    W. Gao
Investigation on Sensitivity of a Contact-Type Thermal Sensor for Surface Defect Inspections
用于表面缺陷检测的接触式热传感器的灵敏度研究
Investigation on the contact detection sensitivity of thermal contact sensor for surface defect inspections
表面缺陷检测用热接触传感器的接触检测灵敏度研究
  • DOI：
  • 发表时间：
    2014
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Yuki Shimizu;Yuta Ohba;Wei Gao
  • 通讯作者：
    Wei Gao
Design of fabrication process of thermal contact sensor for surface defect inspections
用于表面缺陷检测的热接触传感器制造工艺设计
  • DOI：
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Yuta OHBA;Yuki SHIMIZU;Wenjian LU and Wei GAO
  • 通讯作者：
    Wenjian LU and Wei GAO
東北大学, 大学院 工学研究科, ナノメカニクス専攻 高・清水・伊東研究室
东北大学工学研究科、纳米力学系、清水隆、伊藤实验室
  • DOI：
  • 发表时间：
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
  • 通讯作者：
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

SHIMIZU Yuki其他文献

Sensitive and Comprehensive LC-MS/MS Analyses of Chiral Pharmaceuticals and Their Hepatic Metabolites Using Ovomucoid Column
使用卵粘蛋白柱对手性药物及其肝脏代谢物进行灵敏且全面的 LC-MS/MS 分析
  • DOI：
    10.2116/analsci.18scp05
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
    Analytical Sciences
  • 影响因子：
    1.6
  • 作者：
    TODOROKI Kenichiro;KUDOH Yuto;NAKAMURA Misuzu;SHIMIZU Yuki;SASAKI Takamitsu;OTSUKI Hideyuki;WADA Keisuke;MIN Jun Zhe;MIZUNO Hajime;YOSHINARI Kouichi;TOYO’OKA Toshimasa
  • 通讯作者：
    TOYO’OKA Toshimasa
Application of Machine Learning to the Particle Identification of GAPS
机器学习在 GAPS 粒子识别中的应用
Performance Evaluation of a Hash-Based Countermeasure against Fake Message Attacks in Sparse Mobile Ad Hoc Networks
稀疏移动自组织网络中基于哈希的防虚假消息攻击对策的性能评估
  • DOI：
    10.1587/transcom.2021ebp3103
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
    IEICE Transactions on Communications
  • 影响因子：
    0.7
  • 作者：
    SHIMIZU Yuki;KIMURA Tomotaka;CHENG Jun
  • 通讯作者：
    CHENG Jun
質量分析を用いた高精度・高感度メタボロミクスの開発
使用质谱法开发高精度和灵敏的代谢组学
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    TODOROKI Kenichiro;KUDOH Yuto;NAKAMURA Misuzu;SHIMIZU Yuki;SASAKI Takamitsu;OTSUKI Hideyuki;WADA Keisuke;MIN Jun Zhe;MIZUNO Hajime;YOSHINARI Kouichi;TOYO’OKA Toshimasa;水野　初
  • 通讯作者：
    水野　初

SHIMIZU Yuki的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
立即体验

{{ truncateString('SHIMIZU Yuki', 18)}}的其他基金

The construction of cross-cultural model on the development of automatic person perception: Exploring differences between Japan and U.S.(Fostering Joint International Research)
自动人知觉发展的跨文化模型的构建：探索日本和美国之间的差异（促进国际联合研究）
  • 批准号：
    15KK0075
  • 财政年份：
    2016
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research)
The construction of cross-cultural model on the development of automatic person perception: Exploring differences between Japan and U.S.
自动人知觉发展的跨文化模型构建：探究日美差异
  • 批准号：
    26380868
  • 财政年份：
    2014
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Development of the thermal contact sensor for inspection of defects on wafer surface
开发用于检测晶圆表面缺陷的热接触传感器
  • 批准号：
    23860005
  • 财政年份：
    2011
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
Trigger system for high energy cosmic ray measurement
高能宇宙线测量触发系统
  • 批准号：
    22740146
  • 财政年份：
    2010
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
A developmental approach to the process of automatic social cognition
自动社会认知过程的发展方法
  • 批准号：
    22730501
  • 财政年份：
    2010
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
The building of the integrated model on the development of the person cognition
人认知发展综合模型的构建
  • 批准号：
    19730402
  • 财政年份：
    2007
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

相似海外基金

摩擦熱で自己制御された地震性摩擦すべりに関する萌芽研究
摩擦热自控地震摩擦滑移探索性研究
  • 批准号：
    17654085
  • 财政年份：
    2005
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
地震性断層運動による摩擦熱パルス検出の試み
尝试检测地震断层运动引起的摩擦热脉冲
  • 批准号：
    11874067
  • 财政年份：
    1999
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
スパイラル溝軸受の摩擦熱の影響を考慮した近似解析と圧縮性を考慮した純二次元解析
考虑摩擦热对螺旋沟轴承影响的近似分析和考虑压缩性的纯二维分析
  • 批准号：
    60750134
  • 财政年份：
    1985
  • 资助金额：
    $ 2.75万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

知道了