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Defect detection method utilizing micro-thermal balance at the nanometric gap for nanometric-smooth surface inspection

Defect detection method utilizing micro-thermal balance at the nanometric gap for nanometric-smooth surface inspection
利用纳米级间隙处的微热天平进行纳米级光滑表面检测的缺陷检测方法
批准号：
25820030
负责人：
SHIMIZU Yuki
金额：
$2.75万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25820030/
关键词：
欠陥検出摩擦熱熱検知素子精密計測計測欠陥検査接触センサ

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Design and testing of a contact-type micro thermal sensor for defect inspection on nanometric smooth surfaces
用于纳米光滑表面缺陷检测的接触式微型热传感器的设计与测试
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Y. Shimizu, Y. Ohba, W. Gao]
通讯作者： W. Gao
Investigation on Sensitivity of a Contact-Type Thermal Sensor for Surface Defect Inspections
用于表面缺陷检测的接触式热传感器的灵敏度研究
DOI： --
发表时间： 2015
期刊： International Journal of Automation Technology
影响因子： 1.1
作者： [Yuki Shimizu, Yuta Ohba, Wei Gao]
通讯作者： Wei Gao
Investigation on the contact detection sensitivity of thermal contact sensor for surface defect inspections
表面缺陷检测用热接触传感器的接触检测灵敏度研究
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [Yuki Shimizu, Yuta Ohba, Wei Gao]
通讯作者： Wei Gao
Design of fabrication process of thermal contact sensor for surface defect inspections
用于表面缺陷检测的热接触传感器制造工艺设计
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [Yuta OHBA, Yuki SHIMIZU, Wenjian LU and Wei GAO]
通讯作者： Wenjian LU and Wei GAO
共 13 条
    The construction of cross-cultural model on the development of automatic person perception: Exploring differences between Japan and U.S.(Fostering Joint International Research)
    • 批准号：
      15KK0075
    • 项目类别：
      Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research)
    • 资助金额：
      $9.4万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      SHIMIZU Yuki
    • 依托单位：
      Saitama University
    The construction of cross-cultural model on the development of automatic person perception: Exploring differences between Japan and U.S.
    • 批准号：
      26380868
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      SHIMIZU Yuki
    • 依托单位：
      Saitama University
    Development of the thermal contact sensor for inspection of defects on wafer surface
    • 批准号：
      23860005
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
    • 资助金额：
      $1.91万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      SHIMIZU Yuki
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Trigger system for high energy cosmic ray measurement
    海外基金