Development of multi-focused ion beams for highly functional nano-dimension free processing
Development of multi-focused ion beams for highly functional nano-dimension free processing
开发用于高功能纳米尺寸自由加工的多聚焦离子束
批准号：
16H02093
负责人：
Kuwano Hiroki
金额：
$26.79万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2021-03-31
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マイクロマシニングを用いたイオン源の作製
使用微机械加工制造离子源
使用微机械加工制造离子源
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
A micromachined ionic liquid ion source array
微机械离子液体离子源阵列
微机械离子液体离子源阵列
DOI：
--
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Toma Mana, Tanaka Ryo, Tawa Keiko, Hiroki Kuwano]
通讯作者：
Hiroki Kuwano
DOI：
10.1109/mems51782.2021.9375217
发表时间：
2021
期刊：
Proceedings of 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
--
作者：
[Nguyen-Van Chinh, Le-Van Minh, Takahito Ono, and Hiroki Kuwano]
通讯作者：
and Hiroki Kuwano
A Micromachined Ionic Liquid Ion Source with Flow-Controlled Segmented Annular Channels
具有流量控制分段环形通道的微机械离子液体离子源
具有流量控制分段环形通道的微机械离子液体离子源
DOI：
10.1109/transducers.2019.8808471
发表时间：
2019
期刊：
Proceedings of IEEE Transducers 2019
影响因子：
--
作者：
[Chinh Nguyen-Van, Minh Le-Van, Ono Takahito, Kuwano Hiroki]
通讯作者：
Kuwano Hiroki
Micromachined multiple focused-ion-beam devices
微机械多聚焦离子束装置
微机械多聚焦离子束装置
DOI：
10.1116/1.4943561
发表时间：
2016
期刊：
Journal of Vacuum Science & Technology
影响因子：
--
作者：
[Ryo Yoshida, Motoaki Hara, Hiroyuki Oguchi, Hiroki Kuwano]
通讯作者：
Hiroki Kuwano
共 7 条
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