Development of multi-focused ion beams for highly functional nano-dimension free processing

开发用于高功能纳米尺寸自由加工的多聚焦离子束

• 批准号: 16H02093
• 负责人: Kuwano Hiroki
• 金额: $ 26.79万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2021-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16H02093/
• 关键词: 集束イオンビーム; マイクロ・ナノマシニング; MEMS技術; イオン液体; Siエッチング; イオン源アレイ; 液体イオン源; マルチイオンビーム; イオンビームエッチング; 液体イオン; MEMS; マルチ集束イオンビーム; ナノ加工技術; マルチビーム; ＭＥＭＳ; ナノテクノロジー; ＮＥＭＳ; マイクロ・ナノデバイス; 材料加工・プロセス; Focused ion beams; multi-ion sources; ion source; ionic

项目成果

マイクロマシニングを用いたイオン源の作製

使用微机械加工制造离子源

A micromachined ionic liquid ion source array

微机械离子液体离子源阵列

• 发表时间: 2019
• 作者: Toma Mana;Tanaka Ryo;Tawa Keiko;Hiroki Kuwano
• 通讯作者: Hiroki Kuwano

MICROMACHINED MULTI-ION SOURCES INTEGRATED MICRO FLUIDIC CHANNELS

微加工多离子源集成微流体通道

• DOI: 10.1109/mems51782.2021.9375217
• 发表时间: 2021
• 期刊: Proceedings of 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
• 作者: Nguyen-Van Chinh;Le-Van Minh;Takahito Ono;and Hiroki Kuwano
• 通讯作者: and Hiroki Kuwano

A Micromachined Ionic Liquid Ion Source with Flow-Controlled Segmented Annular Channels

具有流量控制分段环形通道的微机械离子液体离子源

• DOI: 10.1109/transducers.2019.8808471
• 发表时间: 2019
• 期刊: Proceedings of IEEE Transducers 2019
• 作者: Chinh Nguyen-Van;Minh Le-Van;Ono Takahito;Kuwano Hiroki
• 通讯作者: Kuwano Hiroki

Micromachined multiple focused-ion-beam devices

微机械多聚焦离子束装置

• DOI: 10.1116/1.4943561
• 发表时间: 2016
• 期刊: Journal of Vacuum Science & Technology
• 作者: Ryo Yoshida;Motoaki Hara;Hiroyuki Oguchi;Hiroki Kuwano
• 通讯作者: Hiroki Kuwano