Micromachined multiple focused-ion-beam devices

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微机械多聚焦离子束装置

DOI:
10.1116/1.4943561
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发表时间:
2016
期刊:
Journal of Vacuum Science & Technology
影响因子:
--
通讯作者:
Hiroki Kuwano
Hiroki Kuwano
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Ryo Yoshida;Motoaki Hara;Hiroyuki Oguchi;Hiroki Kuwano

文献摘要

参考文献

被引文献

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