Micromachined multiple focused-ion-beam devices
Micromachined multiple focused-ion-beam devices
复制标题
微机械多聚焦离子束装置
DOI:
10.1116/1.4943561
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
Hiroki Kuwano
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Ryo Yoshida;Motoaki Hara;Hiroyuki Oguchi;Hiroki Kuwano
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影响因子:
1.5
作者:
K. Ishida;T. Takamori;K. Matsui;T. Fukunaga;T. Morita;E. Miyauchi;H. Hashimoto;H. Nakashima
通讯作者:
H. Nakashima
影响因子:
1.4
作者:
R. Kubena;F. P. Stratton;T. Mayer
通讯作者:
T. Mayer
影响因子:
1.5
作者:
Y. Bamba;E. Miyauchi;H. Arimoto;K. Kuramoto;A. Takamori;H. Hashimoto
通讯作者:
H. Hashimoto
DOI:
10.1116/1.4745187
发表时间:
2012
期刊:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
影响因子:
--
作者:
C. Perez;P. Lozano
通讯作者:
P. Lozano
影响因子:
1.5
作者:
H. Kuwano;K. Yoshida;S. Yamazaki
通讯作者:
S. Yamazaki