Development of basic technology for achievement of metal source/drain Ge-CMOS device
Development of basic technology for achievement of metal source/drain Ge-CMOS device
批准号:
25249035
负责人:
NAKASHIMA HIROSHI
金额:
$25.21万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份:
2013
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2013-04-01 至 2016-03-31
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Investigation of Al-PMA Effect on Al2O3/GeOX/Ge Gate Stack
Al-PMA 对 Al2O3/GeOX/Ge 栅叠层效应的研究
DOI:
10.1149/06406.0261ecst
发表时间:
2014
期刊:
ECS Transactions
影响因子:
--
作者:
[Y. Nagatomi, Y. Nagaoka, K. Yamamoto, D. Wang, H. Nakashima]
通讯作者:
H. Nakashima
Al2O3/Ge形成後のプラズマ酸化によるゲートスタックの低温形成
Al2O3/Ge 形成后通过等离子体氧化低温形成栅堆叠
DOI:
--
发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
--
作者:
[永冨 雄太, 長岡 裕一, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛]
通讯作者:
中島 寛
Direct-bandgap light emission and detection at room temperature in bulk-Ge diodes with HfGe/Ge/TiN structure
HfGe/Ge/TiN 结构体 Ge 二极管的直接带隙光发射和室温检测
DOI:
--
发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Dong Wang, Takayuki Maekura, Keisuke Yamamoto, Hiroshi Nakashima]
通讯作者:
Hiroshi Nakashima
Effect of Al Post Metallization Annealing on Al2O3/GeO2/Ge Gate Stack
Al 金属化后退火对 Al2O3/GeO2/Ge 栅叠层的影响
DOI:
--
发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Yuta Nagatomi, Yuichi Nagaoka, Shintaro Tanaka, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Hiroshi Nakashima]
通讯作者:
Hiroshi Nakashima
Contact properties of group IV metal-nitrides(TiN, ZrN, HfN) on Ge
Ge 上 IV 族金属氮化物(TiN、ZrN、HfN)的接触性能
DOI:
--
发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Hiroshi Nakashima, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Masatoshi Mitsuhara, Ryutaro Noguchi, Keisuke Hiidome, Minoru Nishida]
通讯作者:
Minoru Nishida
共 56 条
creation of contacts with ultralow electron barrier height by nano structure control of metal-nitride/group-IV semiconductor interfaces
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批准号:25600101
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项目类别:Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额:$2.58万
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财政年份:2013
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负责人:NAKASHIMA HIROSHI
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依托单位:
海外基金