ナノスケール生産基盤におけるコア計測技術に関する企画調査

纳米级生产基础设施核心测量技术规划调研

基本信息

  • 批准号:
    18636002
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.18万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2006
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2006 至 2007
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

知的ナノメートル計測を発展させ,ナノスケール生産基盤として日本の産業における「ものづくり」への適用を考えるためには,4つのコア計測技術における課題解決のための共同研究が必要となる.本企画調査では,これらの課題解決を目的とした特定領域研究設置のための調査研究を行った.以下のような4つのグループを作り,調査研究を行った.(1)知的計測技術研究グループ知的計測手法の基本的な技術を体系化し,これを産業界で応用する場合の方法を定式化した.(2)ナノメートル加工計測技術研究グループナノメートル加工計測技術に知的計測手法を応用するために最適な対象を調査した.(3)ナノメートル計測標準研究グループナノメートル計測の標準化により,産業界にナノメートル領域のトレーサビリティを確立するための方法を検討した.(4)ものづくりへの展開研究グループ本組織の母体となる精密工学会「知的ナノ計測専門委員会」の産業界からのメンバー(10社〜20社程度)を研究協力者として,産業界におけるものづくりへ知的ナノメートル計測技術を適用する手法について検討した.このような連携活動を有効的,効率的に行うために,上記専門委員会の活動を支援し連携して調査研究を行った.また,関連する国際会議8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2007) (2007年9月25日〜27日,東北大学,委員長 高教授)を支援することで,国際的な連携,動向調査を行った.この国際会議は,参加者:250人(23カ国),発表:214件,企業展示:15社と,計測分野の国際会議として大きな成功を収めた.このためにインターネットおよびホームページを有効に利用した情報収集,および国際的な情報発信やメールや郵送を利用した情報収集を行った.これらの連携,研究,調査の結果を特定領域研究の新規発足研究領域の準備に利用する.
The development of knowledge measurement technology, production base and application of Japanese industry measurement technology is necessary for joint research on problem solving. This project investigation is aimed at solving problems in specific fields. The following is a list of 4 topics to be studied. (1)The basic techniques of the known measurement techniques are systematized, and the methods used in the industrial field are formulated. (2)Research on machining measurement technology; research on measurement methods; research on optimum measurement methods; (3)Research on standardization of measurement standards in the field of industry (4)The organization's parent organization, the Society of Precision Engineering, and the industry's "Intellectual Property Measurement Committee"(Level 10 - 20) are the research collaborators and the industry's "Intellectual Property Measurement Committee" are the research collaborators. The activities of the committee are supported by the investigation and research. 8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2007) (September 25 - 27, 2007, Tohoku University, Chairman Professor Gao) International Conference, Participants:250 people (23 countries), Presentation:214 pieces, Enterprise Exhibition:15 companies, Planning Division International Conference success. This is the first time that we have used the information collection, the international information collection and the mail collection. The results of this research, research, and investigation are used in preparing new regulations for specific research areas.

项目成果

期刊论文数量(7)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Development of a Multi-Ball-Cantilever AFM for Measuring Resist Surface
  • DOI:
    10.20965/jrm.2006.p0698
  • 发表时间:
    2006-12
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Shujie Liu;S. Nagasawa;S. Takahashi;K. Takamasu
  • 通讯作者:
    Shujie Liu;S. Nagasawa;S. Takahashi;K. Takamasu
平面リニアモータの精度校正に関する研究(第1報) -反射ミラーの形状計測-
平面直线电机精度标定研究(第1次报告)-反射镜的形状测量-
現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第1報): 温度ドリフトの評価および補正
现场环境下三坐标测量机的进步研究(第一篇报告):温度漂移的评估和校正
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    大西徹;高瀬省徳;高増潔
  • 通讯作者:
    高増潔
輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報) : 欠陥検出原理とその検証実験
环形倏逝照明电路图案硅片表面异物缺陷检测方法研究(第一篇报告):缺陷检测原理及其验证实验
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Han;D.;R.Ono and T.Oda;T.Yamato et al.;吉岡淑江
  • 通讯作者:
    吉岡淑江
エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第1報)-造形基本特製の理論的・実験敵検討-
利用倏逝光的纳米立体光刻研究(第一次报告) - 特殊建模基础的理论和实验研究 -
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    梶原優介;稲月友一;高橋哲;高増潔
  • 通讯作者:
    高増潔
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    澤内 佑介;高橋 哲;高増 潔
  • 通讯作者:
    高増 潔
定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第4報)-定在波シフトによる変調散乱光観察実験-
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    岡田 真一;臼杵 深;高橋 哲;高増 潔
  • 通讯作者:
    高増 潔
大気圧非熱平衡プラズマによるVOC除去
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  • 通讯作者:
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知道了