新規結像ミラー光学系を用いた大視野X線顕微鏡の開発

使用新型成像镜光学系统开发大视场X射线显微镜

• 批准号: 22H03866
• 负责人: 松山 智至
• 金额: $ 11.15万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022-04-01 至 2025-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22H03866/
• 关键词: X線顕微鏡; X線ミラー; 大視野; 放射光

実用的なX線顕微分光を実施するためには，大視野，高空間分解能，高効率，色収差のない顕微鏡システムが必要不可欠である．しかし，FZPなどの回折レンズを用いた顕微鏡では効率と色収差の点で課題があった．一方で，反射レンズ（結像ミラー）では視野が狭いという課題があった．本研究では，これまでコマ収差と像面湾曲収差によって大視野化が難しかった結像ミラー光学系において，コマ収差と像面湾曲収差を補正することができる新規結像光学系を実現することを目指している．本年度は，①光学系の設計，②シミュレーション，③ミラーマニピュレータの開発，を中心に実施した．①では，複数のミラーから成り，コマ収差と像面湾曲収差を補正できる光学系を設計した．反射率，全長，ミラー曲率半径，作動距離，開口数，斜入射角，コーティング材料を最適化することで，実用的な設計を得た．②では，光線追跡・波動光学シミュレータを開発した．これを使って①の設計を検討し，また，許容アライメント誤差を算出した．また，両者をハイブリッドしたシミュレータも開発し，高速に波動場を計算できるようにした．③では，設計したミラーを調整できるミラーマニピュレータの設計を行った．②で予想した許容アライメント誤差を十分に調整できるシステムの開発を進めた．今後の予定として，ミラーマニピュレータの開発，光学系の試作・テストを実施し，提案した光学系が実用的であることを確認する．また，顕微鏡にインストールすることで，その応用を進める．

The X-ray differential optical system is used to determine the temperature, large field, high space decomposition energy, high temperature, chromatic aberration, micro-optical transmission, and FZP differential photosensitivity. it is necessary to use the differential optical density, the high temperature field, the high space decomposition energy, the high temperature, the color difference, the color difference. The reflection system (image display) is sensitive to a wide range of problems. In this study, the results show that the performance of the optical system is similar to that of the department of optics and the department of optics. in this study, the image of the optical system is similar to that of the optical faculty of optics. The design of the Department of Optics, the temperature of the optical department is very high, the temperature is very high, the temperature of the center is very high, and the temperature of the optical system is the same as that of the optical system. The design of the equipment used is very high. 2, and the optical line tracking wave motion optical signal is switched on and on. The equipment makes it possible for the equipment to be designed in the first place to calculate the difference between the operating system and the operating system. The error rate is very low, the error rate is very low, and the high-speed wave field is used to calculate the temperature. In the design and implementation of the equipment, the design of the equipment, the design, the design Let's see if you can use it to improve your performance.

项目成果

名古屋大学松山研究室

名古屋大学松山实验室

Wide field-of-view x-ray imaging optical system using grazing-incidence mirrors

使用掠入射镜的宽视场 X 射线成像光学系统

• DOI: 10.1364/ao.475891
• 发表时间: 2022
• 期刊: Applied Optics
• 影响因子: 1.9
• 作者: Matsuyama Satoshi;Inoue Takato;Hata Kentaro;Iriyama Haruhito;Yamauchi Kazuto
• 通讯作者: Yamauchi Kazuto

High-resolution Full-field X-ray Microscope Based on Multilayer Advanced KB Mirrors

基于多层先进KB镜的高分辨率全视场X射线显微镜

• 发表时间: 2022
• 作者: Kazuki Iwamoto;Hideki Tomita;Ryohei Terabayashi;Volker Sonnenschein;Keisuke Saito;敷田麻実・森重昌之;S. Matsuyama
• 通讯作者: S. Matsuyama

大視野を持つＸ線斜入射結像光学系の開発

大视场X射线斜入射成像光学系统的研制

• 发表时间: 2023
• 作者: Matsuyama Satoshi;Inoue Takato;Hata Kentaro;Iriyama Haruhito;Yamauchi Kazuto;中塚幹也;中子富貴子,敷田麻実,鈴木晃志郎,齋藤千恵,川澄厚志,森重昌之,赤穂雄磨,長谷邦記;入山陽仁，井上陽登，松山智至
• 通讯作者: 入山陽仁，井上陽登，松山智至