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超高精度X線ミラー作製による高分解能硬X線顕微鏡の開発

通过制造超高精度X射线镜开发高分辨率硬X射线显微镜

基本信息

批准号：
15106003
负责人：
山内和人
金额：
$ 58.07万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
财政年份：
2003
资助国家：
日本
起止时间：
2003 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

本年度(平成18年4月〜平成18年7月)の研究実績1 走査型蛍光X線顕微鏡システムの構築これまで開発を進めてきた、ナノ集光システムの後段に、既存のXYステージと蛍光X線ディテクターを装着させ、走査型の蛍光X線顕微鏡システムを構築した。XYステージには、0.01μm分解能のステージを用いた。蛍光X線ディテクターからの波形分布を、各ポイントで取得可能なシステムとし、複数の元素マップを取得することを可能とした。SPring-8のBL29XULにおいて、テストパターンによるシステムの動作確認と、細胞内の元素分布の観察を行った。テストパターンはFIB (Focused Ion Beam)により作製した。顕微鏡システムの空間分解能のテストを行った結果、30nmの分解能でテストバターンに書かれていた文字を画像化することができた。細胞観察では、細胞内の核やミトコンドリアの観察において、同時に複数の元素分布を可視化することに成功した。2 ブロジェクション顕微鏡システムの予備検討ブロジェクション型顕微鏡システムとしては、将来的な発展性を考慮すると、近年注目をあびているX線回折顕微鏡の導入が不可欠であり、検討を開始した。本手法は、X線の透過強度分布から、集光点近傍のサンプル内の電子分布を求めるものであり、原理的にナノメートルの空間分解能を持つ顕微鏡手法として有力である。今年度は、位相回復法と呼ばれる数学的手法に基づくブログラムを開発した。そして、ミラー集光光学系においても、透過強度分布からサンブルの電子構造を求めることが可能であることがわかった。

This year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng 18), this year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng), this year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng 18), this year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng 18), this year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng 18), this year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng 18), this year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng 18), this year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng 18), this year (April of Pingcheng 18 to July of Pingcheng 18), this year (April of Pingcheng to July of Pingcheng). The decomposition of XY, 0.01 μ m, can reduce the temperature and energy consumption. X-ray is used to obtain the distribution of waveforms, the number of elements to obtain the possibility of waveform distribution, and the number of elements to obtain the possibility. SPring-8, BL29XUL, cell, etc. Please tell me that the FIB (Focused Ion Beam) is not a good idea. Micro-analysis of space decomposition can analyze the results of line analysis, and 30nm decomposition can analyze the image of text images. Cell monitoring, intracellular nuclear monitoring, and simultaneous monitoring of the distribution of complex elements can help to determine the success of the experiment. 2. In recent years, we have paid close attention to the development of the information system, the development of the future, the development of the market, and the development of the system in recent years. in recent years, we have paid attention to the development of the information system in recent years. In this method, the X-ray spectrum is calculated by the intensity distribution, the focusing point near the temperature distribution, and the space decomposition of the principle. This year, the phase feedback method calls for the basic principles of mathematics. The department of optics is very important in the field of optical engineering, and it is possible to use the intensity distribution of the optical system to build the computer.