超高精度X線ミラー作製による高分解能硬X線顕微鏡の開発

通过制造超高精度X射线镜开发高分辨率硬X射线显微镜

基本信息

  • 批准号:
    15106003
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 58.07万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
  • 财政年份:
    2003
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2003 至 2007
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

本年度(平成18年4月〜平成18年7月)の研究実績1 走査型蛍光X線顕微鏡システムの構築これまで開発を進めてきた、ナノ集光システムの後段に、既存のXYステージと蛍光X線ディテクターを装着させ、走査型の蛍光X線顕微鏡システムを構築した。XYステージには、0.01μm分解能のステージを用いた。蛍光X線ディテクターからの波形分布を、各ポイントで取得可能なシステムとし、複数の元素マップを取得することを可能とした。SPring-8のBL29XULにおいて、テストパターンによるシステムの動作確認と、細胞内の元素分布の観察を行った。テストパターンはFIB (Focused Ion Beam)により作製した。顕微鏡システムの空間分解能のテストを行った結果、30nmの分解能でテストバターンに書かれていた文字を画像化することができた。細胞観察では、細胞内の核やミトコンドリアの観察において、同時に複数の元素分布を可視化することに成功した。2 ブロジェクション顕微鏡システムの予備検討ブロジェクション型顕微鏡システムとしては、将来的な発展性を考慮すると、近年注目をあびているX線回折顕微鏡の導入が不可欠であり、検討を開始した。本手法は、X線の透過強度分布から、集光点近傍のサンプル内の電子分布を求めるものであり、原理的にナノメートルの空間分解能を持つ顕微鏡手法として有力である。今年度は、位相回復法と呼ばれる数学的手法に基づくブログラムを開発した。そして、ミラー集光光学系においても、透過強度分布からサンブルの電子構造を求めることが可能であることがわかった。
Research Results for the Year (April 2018 to July 2018) 1. Development of the construction of an investigation type X-ray micro-mirror system, development of the latter stage of the collection system, installation of existing XY micro-mirrors and construction of an investigation type X-ray micro-mirror system. XY technology, 0.01μm resolution technology The waveform distribution of X-ray emission is obtained from each component, and the number of elements is obtained from each component. SPring-8 BL29 XUL is a new type of cell for detecting the distribution of elements in cells. FIB (Focused Ion Beam) The spatial resolution of the micro-mirror system results in the resolution of the 30nm system. Cell observation, cell nuclear separation, and visualization of the distribution of multiple elements 2. The preliminary study of X-ray reflection micromirrors has been focused on in recent years, considering the future development of X-ray reflection micromirrors. This technique is based on the transmission intensity distribution of X-rays, the electron distribution in the sensor near the light spot, and the spatial decomposition of the principle of the sensor. The micromirror technique is powerful. This year, the phase recovery method and the mathematical method are developed. The electronic structure of the light collecting optical system can be calculated by the transmission intensity distribution.

项目成果

期刊论文数量(16)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Diffraction-limited two-dimensional hard-X-rays focusing in 100nm level using K-B mirror arrangement
使用 K-B 镜布置在 100 nm 级聚焦的衍射极限二维硬 X 射线
Fabrication of elliptically figured mirror for focusing hard X-rays to size less than 50 nm
用于将硬 X 射线聚焦到尺寸小于 50 nm 的椭圆形镜的制造
EEM (Elastic Emission Machining)プロセスにおける微粒子表面の形態が加工表面に及ぼす影響
EEM(弹性发射加工)过程中颗粒表面形态对加工表面的影响
EEM (Elastic Emission Machining)による4H-SiC(0001)表面の平滑化
通过 EEM(弹性发射加工)平滑 4H-SiC(0001) 表面
  • DOI:
  • 发表时间:
    2005
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    久保田章亀;三村秀和;佐野泰久;山村和也;山内和人;森 勇藏
  • 通讯作者:
    森 勇藏
Morphological Stability of Si (001) Surface in Mixture Fluid of Ultrapure Water and Silica Powder Particles in Elastic Emission Machining
弹性发射加工中超纯水和二氧化硅粉末颗粒混合流体中Si(001)表面的形貌稳定性
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山内 和人其他文献

加工荷重低減のためのねじりモーション付加鍛造加工プロセスの開発
开发增加扭转运动的锻造工艺以减少加工负荷
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    稲垣 耕司;森川 良忠;山内 和人;中山 享;稲垣耕司;松本 良
  • 通讯作者:
    松本 良
GaN表面CARE加工の反応メカニズムの第一原理計算による解析 ステップ/キンク部における水分子の解離吸着
利用第一性原理计算分析GaN表面CARE加工的反应机理台阶/扭结部分水分子的解离和吸附
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    稲垣 耕司;森川 良忠;山内 和人
  • 通讯作者:
    山内 和人
革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作(第10報)-基本型装置(A型)によるダイヤモンドの加工-
创新CMP/P-CVM融合设备的设计和原型(第十次报告)-使用基本设备(A型)进行金刚石加工-
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    佐野泰久;土肥俊郎;黒河周平;會田英雄;大山幸希;宮下忠一;住澤春男;宮崎俊亘;山内 和人
  • 通讯作者:
    山内 和人
PhoENiX衛星計画に向けた高精度Wolterミラーの開発研究
PhoENiX卫星项目高精度沃尔特反射镜研发
  • DOI:
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    加島 颯太;坂尾 太郎;松山 智至;井上 陽登;入山 陽仁;栗本 晋之介;山内 和人;香村 芳樹;三宅 明;中森 紘基;松坂 俊一郎;谷口 敏規;中野 俊男;成影 典之;佐藤 慶暉;清水 里香
  • 通讯作者:
    清水 里香
PhoENiX衛星計画に向けた高精度Wolterミラー保持機構の検討
PhoENiX卫星项目高精度Wolter镜保持机构研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    坂尾 太郎;松山 智至;山内 和人;三宅 明;野村 伊玖磨;原 玲丞;竹中 久貴;成影 典之
  • 通讯作者:
    成影 典之

山内 和人的其他文献

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  • 发表时间:
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  • 通讯作者:
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Development of X-ray nanobeam optics by precision wavefront control
通过精密波前控制开发 X 射线纳米束光学器件
  • 批准号:
    21H05004
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 58.07万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
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  • 财政年份:
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  • 资助金额:
    $ 58.07万
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  • 资助金额:
    $ 58.07万
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  • 批准号:
    03750086
  • 财政年份:
    1991
  • 资助金额:
    $ 58.07万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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阐明 EEM 中的原子去除机制
  • 批准号:
    02750085
  • 财政年份:
    1990
  • 资助金额:
    $ 58.07万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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  • 批准号:
    62750110
  • 财政年份:
    1987
  • 资助金额:
    $ 58.07万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)

相似海外基金

新規結像ミラー光学系を用いた大視野X線顕微鏡の開発
使用新型成像镜光学系统开发大视场X射线显微镜
  • 批准号:
    23K25120
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 58.07万
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Instrument Development: A lab-scale soft X-ray microscope for biological systems
仪器开发:用于生物系统的实验室规模软 X 射线显微镜
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    EP/Z53108X/1
  • 财政年份:
    2024
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    Research Grant
肺癌生検組織における走査型蛍光X線顕微鏡を用いた元素マッピング
使用扫描 X 射线荧光显微镜对肺癌活检组织进行元素图谱分析
  • 批准号:
    24K19099
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 58.07万
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    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Upgrade of an existing 3D X-ray microscope
现有 3D X 射线显微镜的升级
  • 批准号:
    521113530
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 58.07万
  • 项目类别:
    Major Research Instrumentation
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设备:MRI Track 2 购买 3D X 射线显微镜,用于先进的基于标本的有机体研究
  • 批准号:
    2320473
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 58.07万
  • 项目类别:
    Standard Grant
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    2023
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    2023
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極薄形状可変ミラーを用いた色収差の無い高分解能X線顕微鏡の開発
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3D X 射线显微镜
  • 批准号:
    501811684
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  • 资助金额:
    $ 58.07万
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新規結像ミラー光学系を用いた大視野X線顕微鏡の開発
使用新型成像镜光学系统开发大视场X射线显微镜
  • 批准号:
    22H03866
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 58.07万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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知道了