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新規な過酸化ポリ酸の構造と感光機能に関する研究

新型聚酸过氧化物的结构及光敏性研究

基本信息

批准号：
04205024
负责人：
工藤徹一
金额：
$ 1.34万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-04205024/
关键词：
過酸化ポリ酸非晶質感光機能複合酸化物

项目摘要

機能性無機材料研究の一環として、報告者らが見いだした過酸化ポリタングステン酸を用いた無機レジスト材料の研究・開発を行なっている。この新規のポリ酸は金属Wと過酸化水素の直接反応により生成するもので、その水溶液からスピンコート法により均一な薄膜を得ることができる上、深紫外線・電子線・集束イオンビームなど様々な線源に感応してネガ型の特性を示し、高い感度と解像度を有することがわかっている。今回ラマン散乱スペクトルの測定により、感光時の縮重合についての知見とこれに関連した、酸素分子のケージング現象を見い出した。無添加のW-IPA薄膜について、加熱処理またはdeep-UV照射した試料についてラマン散乱スペクトル測定を行った。これらの処理により580および880cm^<-1>付近のピークが小さくなり、600〜700cm^<-1>のピークが大きくなる。このことより、ポリアニオンの網目構造が発達し重縮合が進むことがわかる。80℃で長時間保持したものについては100℃、0分処理のものと形状が異なり、むしろ80℃、0分のものと似通っている。このことから、80℃付近にある安定相が存在することが示唆され、これはIRでも確認された。またある程度の熱処理を施したものには、1550cm^<-1>付近にピークが存在し、生成した酸素分子はマクロな構造の緻密化によりケージングされていることが明らかになった。UV照射した試料のラマン散乱スペクトルは、100℃で熱処理した試料のものと類似していることがわかった。またこれにも同様に酸素がケージングされていることが明らかになった。これまでのX線動径分布関数を用いた解析によりW-IPAは、WO^6八面体の頂点共有と稜共有三員環からなるクラスター構造をとることがわかっている。以上の結果と合わせ熱処理またはdeep-UV照射すると、縮重合が進み不溶化し、同時に酸素がケージングされるものと考えられる。

Research and development of inorganic materials for functional applications The new method of direct reaction of metal W and peracidified water elements in aqueous solution can be used to obtain uniform thin films. It can be used to show the characteristics of sensitive type, high sensitivity and resolution of light source by deep ultraviolet ray electron beam cluster. The phenomenon of scattering and scattering of acid molecules has been found in the present study. W-IPA thin film without additive, heat treatment, or deep-UV irradiation The distance between them is 580 cm and 880 cm. The distance between them <-1>is 600 cm and 700 cm<-1>. The structure of the mesh is developed and condensed. 80℃ for a long time, 100℃, 0 minutes, different shapes, 80℃, 0 minutes, similar to The temperature of 80 ° C is very high. In addition, the heat treatment process is applied to the 1550 cm thick layer, and <-1>the acid molecules are generated. UV irradiation of the sample is similar to heat treatment at 100℃. Moreover, it is clear that the same acids are mixed together. The X-ray kinematic diameter distribution of the X-ray is related to the analysis of the W-IPA and WO^6 octahedra. The vertices share a three-member ring. The above results are combined with deep-UV irradiation, condensation and insolubilization, and acid treatment.