权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

新規な過酸化ポリ酸の構造と感光特性に関する研究

新型过氧化多元酸的结构及光敏性能研究

基本信息

批准号：
03205024
负责人：
工藤徹一
金额：
$ 1.41万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至 1992
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03205024/
关键词：
過酸化ポリ酸無機レジスト前駆体低温焼成骨格構造

项目摘要

機能性無機材料研究の一環として、報告者らが見いだした過酸化ポリタングステン酸を用いた無機レジスト材料の研究・開発を行なっている。この新規のポリ酸は金属Wと過酸化水素の直接反応により生成するもので、その水溶液からスピンコ-ト法により均一な薄膜を得ることができる上、遠紫外線・電子線・集束イオンビ-ムなど様々な線源に感応してネガ型の特性を示し、高い感度と解像度を有することがわかっている。現在、電子線露光により孔径0.1μm程度の微細パタ-ンを描き、これをマスクとして有機樹脂に微細加工できることを確認している。一方、本レジスト材料は有機非線形材料(MBANP)と反応する事なく塗布することができるという特性を利用して、遠紫外線露光により線幅10μm程度のパタ-ンを描き、これをマスクとして下層の有機非線形材料を加工することに成功している。過酸化ポリタングステン酸、過酸化ポリニオブ酸はこれを前駆体として用いることにより興味深い特性を示す複合酸化物が得られる。これまで、塩を形成するカチオン種と生成する骨格構造について調べた結果過酸化ポリニオブ酸を用いて得られた骨格構造複合酸化物は3種類に大別されるが、いずれもこれまでニオブ系複合酸化物として唯一知られていた欠陥ペロブスカイト型とは異なっていた。RbおよびCs塩からは歪んだパイロクロア型構造の結晶が得られた。またYおよびランタノイド系の塩からは六方晶系の結晶が得られた。このうち、YおよびSm〜Luの塩とイオン半径の大きなLa〜Ndの塩では異なるX線回析パタ-ンを示した。前者は過酸化ポリニオブ酸単身を焼成して得られる構造と同一であるが、後者はこれまでに報告のない新規化合物であることが分かった。

The study of functional inorganic materials has been carried out in the first half of the year, and the reporter has started the research on acidified materials. In the new regulations, the acidified water quality of the metal W film is directly affected by the acidified water, the aqueous solution is used to obtain the uniform thin film, and the UV cable cluster is used to detect the source capacity. the characteristics of the sensor, the high sensitivity, the temperature, the temperature, the temperature, At present, the exposure aperture of the power line is 0.1 μ m. The aperture of the micrometer is different from that of the micrometer, and the system is used to verify the accuracy of the microphone. On the one hand, the mechanical non-shaped material (MBANP) is used in the processing of non-shaped materials. The characteristics of the non-shaped materials are successfully tested by the use of optical, ultraviolet light exposure, the amplitude of 10 μ m, and the processing of non-shaped materials. After acidizing, the chemical acid, the acid and the acid. This is the only way to know that the complex acid compound is the only one to know that the complex acid compound is the only one in the complex acid system. The results of the Rb Cs test show that the results of the test are not correct. The results show that the hexagonal crystal system has been successfully obtained. The radius of the radius is larger than the radius of the Sm~Lu. The X-ray analysis shows that the X-ray is closed. The former is too acidified to make the same drug, while the latter is responsible for the analysis of new compounds.