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電子衝撃にする表面吸着分子からの短寿命負イオン生成過程の研究

利用电子轰击从表面吸附分子产生短寿命负离子过程的研究

基本信息

批准号：
05237230
负责人：
田中大
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Sophia University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1993
资助国家：
日本
起止时间：
1993 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

低エネルギー電子と分子の衝突過程では、電子が一時的に分子に捕えられ、短寿命負イオン状態(共鳴状態)を形成する事がある。この過程は、衝突電子のエネルギーに強く依存し、分子の振動状態と深く関わり、分子の解離付着過程に大きな効果をもたらす。本研究は孤立分子系と、固体表面上に吸着した分子系とにおける、短寿命負イオン状態生成の比較を行うことを目的にした。孤立分子系については、GeH_4,Si_2H_6,C_3H_6,C_3H_4,C_2F_6,NF_3,の各気相分子と低エネルギー電子衝突で、分子の振動励起断面積に、短寿命負イオン状態が、共通に現われることを観測することに成功した。また、分子の対称性、角相関理論を適用することで、それら負イオン状態の電子状態を組織的に解析し、負イオン状態生成機構で多くの新しい知見を得ることができた。結果は、論文として発表した。吸着分子系については、既存の装置に本年度の計画に従い、装置の増設、改良を行った。代表的なエッチング分子NF_3について予備実験を現在進めており、途中経過を日本物理学会で発表する。

The process of low-temperature electrical power generation, the molecular trapping process, and the short-life cycle state (common state) of low-temperature electrons are related to each other. The process, the strong dependence of the electron, the deep state of the molecular vibration, and the molecular dissociation affect the process. In this study, the "isolated molecular system", the adsorption of the molecular system on the solid surface and the formation of the state of the short-lived molecular system are better than those of the solid surface. The isolated molecules are isolated, GeH_4,Si_2H_6,C_3H_6,C_3H_4,C_2F_6,NF_3, and each phase is characterized by low-temperature electron burst, active molecular vibration excitation cross-section, short-life cycle, and high-performance performance. In terms of information, molecular symmetry, angle analysis, and so on, the analysis and analysis of the status of the computer status organization, as well as the new information of the state generation mechanism, has been widely used. Results the results show that the table is full of information. The absorption molecule system, the existing equipment, the current project, the equipment, and the improvement of the equipment. NF_3, the representative of the Japanese physical Society, is on his way to the Japan physical Society on his way through the Japanese physical Society.