多価イオンと固体表面との相互作用

多电荷离子与固体表面之间的相互作用

• 批准号: 05238205
• 负责人: 一宮 彪彦
• 金额: $ 1.02万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-05238205/
• 关键词: 多価イオン; 中性化; 固体表面; 2次電子放出

多価イオンは空の束縛単位と大きい静電ポテンシャルを持っており、固体表面との相互作用により多くの特異な効果が期待できる。本研究では多価イオンと固体表面との相互作用による多価イオンへの電荷移行過程を調べた。特にタンタル表面へのアルゴン多価イオン入射による2次電子放出スペクトルおよび放出収率の測定を行った。その結果2次電子スペクトルにおいてはアルゴンイオンの価数によらず2eVにピークを持ち半値幅3eVの低速2次電子が主に放出され、20eV以上のエネルギーの電子はほとんど放出されないことを示した。このスペクトルは12eVおよび15eVに弱い構造を持ち、前者はオージェ胱励起または自動イオン化を伴うイオンの中性化、後者はTa-NVVオージェ電子と考えられる。また、2次電子放出率において強い多価イオン入射角依存性が得られた。多価イオンからの2次電子放出にはイオンの運動エネルギーによる運動量放出とイオンの持つポテンシャルエネルギーによるポテンシャル放出があるが、2次電子放出の入射角依存性の解析によってこれらの2種類の放出過程を分離することができた。また、この結果からほとんどのイオンは固体表面内に入射する前に中性化されることが示された。しかし、もし入射前の多価イオンの中性化がオージェ中性化あるいは共鳴中性化を伴うオージェ脱励起によるとすると、2次電子スペクトルにはエネルギー遷移に伴う強い構造が現れるはずであるが、測定スペクトルにはほとんどそのような構造が見られなかった。したがって中性化後の励起原子は真空中あるいは極表面で脱励起せず励起状態のまま固体内に侵入し表面からかなり深い位置で2次電子を放出するものと考えられる。これは2次電子スペクトルが脱出深さの比較的大きい10eV以下の電子でほとんど占められていることからも妥当である。以上のように本実験から多価イオンによる2次電子放出過程に関する新しい知見が得られた。

Multi-dimensional binding unit, large electrostatic coupling, multi-dimensional interaction, multi-dimensional interaction, multi-dimensional interaction In this paper, we study the regulation of charge transfer process in the interaction between polychrome and solid surface. In particular, the secondary electron emission spectrum and emission rate were measured when multiple electrons were incident on the surface of the ring. As a result, the secondary electrons are emitted at a low speed of 2eV and at a low speed of 3 eV, and the secondary electrons are emitted at a low speed of 20eV and above. The structure of the structure is weak at 12eV and weak at 15eV. The former is neutral and the latter is Ta-NVV. The dependence of the emission rate of the second order electron on the incidence angle is obtained. Analysis of the dependence of the incident angle on the secondary electron emission from multiple sources and the separation of the emission processes of the two species The result is that the particles are neutralized before they are incident on the surface of a solid. Neutralization of multiple electrons prior to incidence, neutralization of resonance, deexcitation of secondary electrons, migration of secondary electrons, occurrence of secondary electron structures, determination of secondary electron structures, etc. After neutralization, the excited atoms are released from the vacuum, and the excited atoms are released from the surface. The second order electron is larger than 10eV and smaller than 10eV. The above results show that there is a new understanding of the process of secondary electron emission.