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赤外ダイオ-ドレ-ザ-吸収法による表面反応生成短寿命種の検出と計測

赤外ダイオ-ドレ-ザ-吸収法による表面反応生成短寿命種の検出と計測
采用红外二极管激光吸收法检测和测量表面反应产生的短寿命物质
批准号：
01632519
负责人：
田中 武彦
金额：
$0.96万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1989 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632519/
关键词：
反応性プラズマ赤外半導体レ-ザ-吸収法プラズマエッチング非発光性の分子種ダイオ-ドレ-ザ-分光ラジカル計測法

项目摘要

项目成果

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反応性プラズマを制御するためには、プラズマ中に生成するラジカルを含む様々な分子種の計測法の開発が重要である。本研究は赤外半導体レ-ザ-吸収法を応用する、高感度、高選択性かつ汎用性があり、非発光性分子種に適した検出計測法の開発をめざすものである。Siウェハ-をプラズマエッチングする系中に存在するラジカルの検出を具体的目標とした。ステンレス製真空容器中に設置した平行平板電極に高周波電力を供給してプラズマを発生させ、現有のダイオ-ドレ-ザ-分光装置と組合せて測定を試みた。ダイオ-ドレ-ザ-から赤外光は、多重反射光学系によってプラズマ内を16往復させ、約4m有効光路長を得ることができた。高周波電力の洩れによるダイオ-ドレ-ザ-の発振波数への著しい影響が問題となったが、アルミ板で発振器周辺をシ-ルドし、接続に光ファイバ-を使用することによって解決できた。高い検出感度を得るため、(1)高周波を100%振幅変調する方法、(2)無変調の高周波に数kHzのACを重畳する方法、(3)ACのみ電極に供給する方法、の三種類の放電変調方式を試みた。フォトトランジスタを用いて、放電による発光をモニタ-したところ同期して発光が明滅するのが観察され、有効な変調が実現しているものと判断された。SiF_4純ガスを試料として、三種の変調法によって観測したところ、いずれによってもSi_2F_6のシグナルが観測できた。同様の条件で、SiF及びSiF^+の既知のシグナルを検出することを試みたが、現在のところ成功していない。
期刊论文(2)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
田村雅浩: "RF放電プラズマ赤外分光装置の製作" 分子構造総合討論会要旨集. 28 (1989)
Masahiro Tamura：“射频放电等离子体红外光谱仪的制造”分子结构综合讨论会议摘要28（1989）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
複雑な分子スペクトルの新解析法創出のための発見科学的アプローチ
  • 批准号：
    11130216
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.79万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    田中 武彦
  • 依托单位：
    Kyushu University
複雑な分子スペクトルの新解析法創出のための発見科学的アプローチ
  • 批准号：
    10143214
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.66万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    田中 武彦
  • 依托单位：
    Kyushu University
パルス超音速分子線中の短寿命種測定のための高分解能フーリエ変換分光システムの開発
  • 批准号：
    09874116
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.47万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    田中 武彦
  • 依托单位：
    Kyushu University
肝癌の分化度のマーカー酵素の遺伝子発現制御因子
  • 批准号：
    04152075
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Cancer Research
  • 资助金额：
    $1.73万
  • 财政年份：
    1992
  • 负责人：
    田中 武彦
  • 依托单位：
    Osaka University