权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

赤外ダイオ-ドレ-ザ-吸収法による短寿命種の計測

使用红外二极管激光吸收法测量短寿命物质

基本信息

批准号：
02214222
负责人：
田中武彦
金额：
$ 1.15万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究まプラズマ中の分子種の計測法として、赤外半導体レ-ザ-吸収法を応用する手法の開発をめざし、プラズマ中に生成する分子種、特にラジカルの高分解能スペクトルを赤外半導体レ-ザ-分光法によって検出・測定・解析し、これらの分光学的定数を求めると共に、スペクトル線の同定を確実にし、計測のための基礎固めを行うものである。本年度は、GeH_4プラズマ中に生成するラジカルを主目標として研究を進め、GeHラジカルの赤外ダイオ-ドレ-ザ-スペクトルを初めて同定し、精確な分光学的定数を求めることができた。吸収セルは、長さ約1mのパイレックスガラス管の内部に1対のステンレス製の円筒型電極を配置したものを調用した。電極に高圧の交流を供給して放電を起こさせ、放電のオンオフに同期してロックイン検出した(放電変調)。放電セルにはホワイト型の多重反射光学系を組込み、約15mの有効光路長を得た。GeHラジカルは、GeH_4(10mTorr)、He(1Torr)、H_2(1Torr)の混合物の放電により吸収セル中に直接生成した。H_2の添加によりGeHの信号強度は約3倍になった。最適放電電流は約350mA(pーp)であった。1659〜1897cm^<ー1>の領域において、総数94本の吸収線を、Geの質売数70,72,73,74ないし76に対応するGeHのものと確認し、 ^2П_<1/2>スピン状態の遷移に帰属した。0.0005cm^<ー1>程度の確度で各吸収線の波数を測定しこれらを最小二乗解析して、 ^2П_<1/2>スピン状態の分光定数を決定した。5つの同位体種のデ-タは、定数の間に換算質量によるスケ-リング則を仮定して、一括して解析した。

In this study, the molecular species in the semiconductor were measured by the method of infrared absorption absorption spectroscopy, and the identification of the molecular species in the semiconductor was determined by the method of infrared absorption spectroscopy. The foundation of measurement is solid. This year, the main purpose of GeH_4 laser generation is to further research GeH_4 laser generation and to determine the initial and accurate optical parameters. A cylindrical electrode with a length of about 1m is arranged inside the suction tube. High voltage AC supply to the electrodes starts at the same time. The optical path length of the optical system is about 15m. GeH_4(10mTorr), He(1Torr) and H_2(1Torr) are directly generated in the absorption process. The signal intensity of H_2 and GeH is about 3 times higher than that of H_2. The optimum discharge current is about 350mA(p − p). In the field of 1659 ~ 1897cm^<1>, the total number of 94 local absorption lines, Ge mass numbers 70,72,73,74 and 76 are confirmed, and the transition of GeH state is included. 0.0005cm^<-1> degree of accuracy, determination of the number of wavelengths of each absorption line, and determination of the number of spectra of each absorption line state by least squares analysis. 5. Isotope species are classified according to their quality and quantity.