粒子数選別した半導体負イオンクラスタ-と固体表面相互作用

具有粒子数选择的半导体负离子簇与固体表面之间的相互作用

• 批准号: 01632523
• 负责人: 阿知波 洋次
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Tokyo Metropolitan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632523/
• 关键词: 半導体クラスタ-; 衡突脱離; 固体表面相互作用; レ-ザ-; プラズマ

本研究における最終目標は膜形成仮定における反応性プラズマ中のクライスタ-イオンの動的過程を分子論的立場から明らかにすることにある。そのために本研究では、クラスタ-イオンはパルスレ-ザ-光を用いたレ-ザ-スパッタ法により発生させ、高真空中にビ-ムとして取り出し、さらにパルスゲ-ト法により特定粒子数の負イオンクラスタ-だけを分離し、固体表面に衡突させる。したがって反応性化学種としてのクラスタ-イオンの粒子数制抑はもちろんのこと、運動エネルギ-の制抑、クラスタ-内部温度の制抑が可能であり、固体表面との相互作用をきわめて精密に追跡することを可能にした。本年度は上記課題を遂行するために、超高真空下で半導体負イオンクラスタ-ビ-ムを発生させる装置を開発するとともに、パルスゲ-ト法の開発も合せて行なった。超高真空下でのビ-ム発生のためには、冷却ガスを用いないクラスタ-ビ-ム源の開発に成功し、炭系負イオンクラスタ-、ケイ系負イオンクラスタ-を比較的高濃度で発生することができた。さらに特殊な高圧バルス電源を購入し、パルスゲ-ト法を開発した。この方法では通常-IKVの高電圧が発生しており、特定粒子数クラスタ-が飛行するときだけ、パルス的にゲ-トが開く(グランドポテンシャル)ようになっている。炭系負イオンクラスタ-を用いて、性能を調べたところ、完全に単一粒子数のものだけが通過することが明らかになった。さらに上記の方法で粒子数分別した炭系負イオンクラスタ-をMoS_2単結晶に衡突させ、衡突脱離で発生する電子を検出することにより、衡突脱離の粒子数依存性を見い出した。この事実はこれまで全く報告されていない事柄であり、この現象を通して、クラスタ-と固体表面相互作用に新しい手法が生まれる可能性を示している。

The ultimate goal of this study is to clarify the dynamic process of membrane formation from the standpoint of molecular theory. In this study, the number of specific particles in the solid surface was determined by the method of extraction in high vacuum and separation in solid surface equilibrium. The particle number control of reactive chemical species, the control of motion, the control of internal temperature, the interaction of solid surfaces, and the precision tracking are possible. This year, we will carry out the above-mentioned tasks. We will develop devices for semiconductor vacuum production under ultra-high vacuum. Under ultra-high vacuum conditions, the carbon system is produced at relatively high concentrations, and the cooling system is used for the development of carbon source. Special high-voltage power supplies are purchased and developed. This method is usually-IKV high voltage generation, specific particle number, flight time, the number of particles, the number of particles, the number of particles. The carbon system has the following characteristics: The particle number dependence of the carbon system is shown in the method described above. This is a complete report showing the possibility of new methods arising from solid surface interactions.

项目成果

K.Mase: "Photostimulated Desorption of NO Chemisorbed on Pt(100)at 193 nm" J.Chem.Phys.91. 590-597 (1989)

K.Mase：“193 nm 处 Pt(100) 上化学吸附的 NO 的光刺激解吸”J.Chem.Phys.91。

K.Nakashima: "Autoionization Mechanism of NO Molecule:Calculation of Quantum Defect and Theoretical Analysis of Multiphoton Ionization Experiment" J.Chem.Phys.91. 1603-1610 (1989)

K.Nakashima：“NO分子的自电离机制：量子缺陷的计算和多光子电离实验的理论分析”J.Chem.Phys.91。

K.Kimura: "Synchrotron Radiation Apparatus for Supersonic Jet Experiments" Rev.Sci.Instrum.60. 2205-2208 (1989)

K.Kimura：“用于超音速射流实验的同步辐射装置”Rev.Sci.Instrum.60。

Y.Achiba: "Optical-Optical Double Resonace MPI Photoelectron Spectroscopy of the NO Molecule via the C^2(v=4)State:ns and nd Rydberg Series" Chem.Phys.129. 11-20 (1989)

Y.Achiba：“通过 C^2(v=4) 态进行 NO 分子的光学-光学双共振 MPI 光电子能谱：ns 和 nd Rydberg 系列”Chem.Phys.129。

H.Shiromaru: "Synchrotron Radiation Study on Small Binary Molecular Clusters.Ar-Water and CO_2-Water Systems" J.Phys.Chem.93. 1832-1835 (1989)

H.Shiromaru：“小二元分子团的同步辐射研究。Ar-水和CO_2-水系统”J.Phys.Chem.93。