粒子数を選別した半導体負イオンクラスタ-と固体表面相互作用

通过选择粒子数来研究半导体负离子簇与固体表面之间的相互作用

• 批准号: 02214226
• 负责人: 阿知波 洋次
• 金额: $ 0.96万
• 依托单位: Tokyo Metropolitan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02214226/
• 关键词: 半導体; クラスタ-; 固体表面; 炭素クラスタ-

昨年度に引き続き質量選別した炭素負イオンクラスタ-と固体表面の相互作用について,とりわけ衡突にもとづく2次電子放出過程の解明を試みた。炭素負イオンクラスタ-の作製及び粒子数選別はレ-ザ-蒸発法と飛行時間分析型質量分析器を組み合せて使用した。本年度の研究では次の項目について明らかにした。 1)衡突エネルギ-600eV領域における2次電子放出効率(r)値の絶対値測定。 2)γ値の粒子数及びエネルギ-依存性。 3)クラスタ-の2次電子放出に関する電荷の効果。 4)放出電子のエネルギ-分析。 5)イオン散乱及び衡突解離過程の解明。 得られた結果は次の様である。 1)粒子数10ケの炭系クラスタ-についてγ=0.3の値がファラデ-カップを使用した実験から明らかになり,衡突に際し,7割が基盤に,残り3割が真空中へ放出されることが明らかになった。又,粒子数依存性は顕著であり,このエネルギ-領域ではγ〓1/(√<n>)の関係があることが見い出された。 2)衡突エネルギ-とγの関係では,エネルギ-の低下とともにγ値は低下するが,衡突エネルギ-が50〜100eVの領域で,顕著な電子脱離の増加が見られた。この過程は従来報告されていない全く新らしい現象である。 3)エネルギ-を同一にした負イオンクラスタ-と中性クラスタ-のγ値を測定し,電荷の効果を調べた結果,600eV領域ではγ値はほぼ一致し,この領域では電荷の有無とは無関係で運動量によってγ値が決定されていることが明らかになった。 4)放出電子のエネルギ-分布はおおよそ2〜3eVまで分布しているが,エネルギ-分布に大きな構造は見い出されなかった。 5)きわめて低速の運動エネルギ-領域(衡突エネルギ-,<50eV)で大きなイオン散乱を観測した。 この領域のイオン散乱は大部分親イオンのまま散乱していることが明らかになった。

Yesterday's annual に lead き 続 き quality sorting し た carbon negative イ オ ン ク ラ ス タ - と solid surface の interaction に つ い て, と り わ け conflicts に も と づ く twice electronic release process の interpret を try み た. Carbon negative イ オ ン ク ラ ス タ - の cropping and び particle number choose don't は レ ザ - steamed 発 method と flight time analytical quality analyzer を group み close せ て use し た. This year, the <s:1> research で で times <s:1> project に に て て て aims at ら ら に に た た た. Determination of the <s:1> absolute value of the における second electron emission efficiency (r) in the range of エネ ギ ギ-600 ev. 2)γ value びエネ particle number and びエネ ギ ギ- dependence. 3) The effect of the release of に related する charge <e:1> by the second electron of ラスタ ラスタ- <e:1>. 4) Release electrons エネ エネ ギ ギ- analysis. 5) <s:1> explanation of the dispersion process of <s:1> <s:1> and the dissociation process of び. The られた result is られた subsize である. 1) particle number 10 ケ の charcoal series ク ラ ス タ - に つ い て gamma = 0.3 の numerical が フ ァ ラ デ - カ ッ プ を use し た be 験 か ら Ming ら か に な り, conflicts に interstate し, 7 が base plate cutting に, residual り 3 cut が vacuum へ release さ れ る こ と が Ming ら か に な っ た. Again, the population dependency は 顕 the で あ り, こ の エ ネ ル ギ - field で は gamma 〓 1 / () < n >) の masato is が あ る こ と が see い out さ れ た. 2) conflicts エ ネ ル ギ - と gamma の masato is で は, エ ネ ル ギ - low の と と も に low gamma numerical は す る が, conflicts エ ネ ル ギ - が で の area, 50 ~ 100 ev 顕 な electronics from の raised plus が see ら れ た. The <s:1> process 従 従 is used to report the されて な な く all く new ら 従 phenomenon である. 3) エ ネ ル ギ - を same に し た negative イ オ ン ク ラ ス タ - と neutral ク ラ ス タ - の gamma numerical を し, charge の unseen fruit を adjustable べ た results, 600 ev field で は gamma numerical は ほ ぼ し, こ の field で の は charge any と は no masato is で exercise に よ っ て gamma numerical が decided さ れ て い る こ と が Ming ら か に な っ た. 4) emitted electron の エ ネ ル ギ - distribution は お お よ そ 2 ~ 3 ev ま で distribution し て い る が, エ ネ ル ギ distribution に with large き な tectonic は see い out さ れ な か っ た. 5) き わ め て low-speed の movement エ ネ ル ギ - field (conflicts エ ネ ル ギ -- < 50 ev) で き な イ オ ン scattered を 観 measuring し た. The <s:1> field is scattered and disorderly. Most of the relatives are まま scattered and disorderly. Youdaoplaceholder1 る とが Ming ら になった になった.

项目成果

H.Shiromaru: "Collisional Electron Emission st Solid Surface induced by Mass Selected Negative Cluster Ions" Z.Phys.D.

H.Shiromaru：“质量选择的负簇离子引起的固体表面碰撞电子发射”Z.Phys.D。

Y.Achiba: "Evidence of Linear Chain for n>10 Carbon Negative Ion Clusters revealed by Mass Selected Photodetachment Spectroscopy" Z.Phys.D.

Y.Achiba：“质量选择光脱离光谱揭示的 n>10 碳负离子簇线性链的证据”Z.Phys.D。

H.Shiromaru: "Surface Induced Detachment observed on Mass Selected Carbon Negative Ion Clusters at Solid Surface" Chem.Phys.Lett.

H.Shiromaru：“在固体表面的质量选择碳负离子簇上观察到表面诱导分离”Chem.Phys.Lett。

K.Mase: "Photostimulated Desorption of NO Chemisorbed on Pt(100) induced by Valence Electron Excitation" Rev.Solid State Sci.4. 591-594 (1990)

K.Mase：“价电子激发诱导 Pt(100) 上化学吸附的 NO 的光刺激解吸”Rev.Solid State Sci.4。

K.Mase: "Photosrtimulated Desorption of NO on Pt(001) studied with Multiphoton Ionization Technique" Surface Sci.242. 444-449 (1991)

K.Mase：“用多光子电离技术研究 Pt(001) 上 NO 的光刺激解吸”Surface Sci.242。