電子衝突による反応性ラジカルの生成断面積の測定

测量由于电子碰撞而形成的反应性自由基的横截面

• 批准号: 02214212
• 负责人: 徳江 郁雄
• 金额: $ 1.02万
• 依托单位: Niigata University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02214212/
• 关键词: 電子衝突; 三塩化ホウ素; 発光断面積; レ-ザ-誘起ケイ光; 発光寿命

プラズマエッチングのプロセスガスとして用いられている三塩化ホウ素の放電プラズマ中における初期反応過程に注目し、ラジカルの生成過程を調べることを目的として次の2つの実験研究を行なった。1.まず三塩化ホウ素の電子衝突による紫外可視発光スペクトルを観測し、励起スペクトルや発光寿命の測定から、電子励起状態のラジカルの生成過程を同定した。さらに100eVにおけるN_2^+(BーX)バンドの発光断面積を標準にして、B( ^2Dー ^2P^ﾟ)とB( ^2Sー ^2P^ﾟ)原子線およびBC1(AーX)バンドの発光断面積の絶対値を、それぞれ4.4±0.6、5.6±1.0、2.40±0.45Mb(1Mb=10^<ー22>M^2)と決めた。B原子の発光断面積は、25ー30eVにピ-クがあり35eV付近に極小を持ち、さらに50ー70eVに幅広いピ-クを持つという特異的な振舞いを示す。BCl(AーX)バンドの発光断面積は20eV付近にピ-クを持ちそれから25eVまで減少し、さらに45eVで幅の広いピ-クを示す。この他に250ー370と410ー580nmにBCl_2と予想される発光を観測している。2.三塩化ホウ素の放電プラズマ中で生成すると推定されるBCl_2の電子状態や構造を調べるため、レ-ザ-誘起蛍光(LIF)の測定を国立環境研究所の井上元博士と共同で行なった。BCl_2の生成は約1kVの直流放電で行い、YAGレ-ザ-励起色素レ-ザ-の倍波を用いた。338ー358nmにおけるLIFスペクトルはブロ-ドで、期待した振動構造は観測されなかった。一方、この波長範囲における発光寿命は660±140、1560±400nsの2成分を持つ。このうち長寿命成分は、三塩化ホウ素の電子衝突ですでに観測している1650±100nsとよく一致している。

The research on the initial reaction process and the formation process of the protein was carried out. 1. The electron collision of the three elements of the ultraviolet visible light emission test, excitation test, light emission life test, electron excitation state and the generation process are determined. For 100eV, the emission cross-sectional area of N_2^+(B-X) is 4.4 ± 0.6, 5.6 ± 1.0, 2.40 ± 0.45 Mb (1 Mb = 10 ^<22> M^2), and the emission cross-sectional area of B(^2D ^2P ^) and B( ^2S ^2P ^) is 4.4±0.6, 5.6±1.0, and 2.40± 0.45 Mb (1Mb=10^<22>M^2). B atom emission cross-section area is 25 - 30eV, near 35eV, very small, at 50 - 70eV, amplitude is 25 - 30 eV, and special vibration is shown. BCl(A-X) has a light emitting cross-section area of 20eV, a decrease of 25eV and a decrease of 45eV. BCl_2 is expected to emit light from 250 nm to 370 nm and 410 nm to 580nm. 2. The electronic state and structure of BCl_2 were estimated by the measurement of LIF. Dr. Moto Inoue of the National Institute of Environmental Research. BCl_2 generation is about 1kV DC current, YAG excitation is about 1kV DC current, YAG excitation is about 1 kV DC current. 338 - 358nm LIF is expected to vibrate. The wavelength range of one wavelength is 660±140 ns, and the emission lifetime of two components is 1560±400ns. The long-lived components of the compound were measured at 1650±100ns.

项目成果

Ikuo Tokue: "Electronーimpactーinduced light emission from BCl_3" Chemical Physics.

Ikuo Tokue：“BCl_3 的电子碰撞引起的光发射”化学物理。

Ikuo Tokue: "Photoemission cross sections of CCl_4 by electron impact" Chemical Physics.

Ikuo Tokue：“电子撞击产生的 CCl_4 光发射截面”化学物理。