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反応性プラズマ中のラジカルの生成過程

反应等离子体中自由基的产生过程

基本信息

批准号：
01632511
负责人：
徳江郁雄
金额：
$ 0.96万
依托单位：
Niigata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
起止时间：
1989 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632511/
关键词：
四塩化炭素電子衝突発光断面積放電プラズマ反応素過程

项目摘要

プラズマエッチングのプロセスガスとして用いられているハロゲン化炭化水素放電プラズマ中におけるラジカルの生成過程を調べることを目的とした。まず種々の塩化メタン類や三塩化ホウ素の電子衝突による発光スペクトルを観測した。励起スペクトルや発光寿命の測定から、電子励起状態のラジカルの生成過程を同定した。特に四塩化炭素(CCl_4)からのCCl(A)とCl_2(D')状態は、第1イオン化ポテンシャルより高い超励起状態を経由して生成することが他の実験結果との比較より分かった。他の試料ガスについても同様な結果が得られている。次に、これらの結果を用いて、ホロ-カソ-ド放電とマイクロ波放電中の四塩化炭素/アルゴン混合気体からの発光を観測し、CCl(A)とCl_2(D')状態の生成過程を調べた。このとき、発光は放電部の上流から、放電部を積分する配置で観測した。300nmより長波長ではアルゴンからの発光が強いので、主に180-300nmでの発光を解析した。放電中のラジカルの温度を推測する1つの方法として、CCl(A-X)バンドを分解能をあげて測定しシュミレ-ションによりA状態の振動・回転分布を解析した。アルゴン圧2.5torrのホロ-カソ-ド放電では回転温度として350±50Kを得たが、これは回転緩和を多少受けていると思われる。またMW放電での低圧の限界付近(0.34torr)では600±50Kの回転温度が得られた。一方振動分布は振動緩和を受けていない分布比としてP(v'=1+2)/P(v'=0)=0.1を得た。これらの結果を他の研究と比較し、放電中ではCl(A)状態は電子と四塩化炭素分子との衝突で直接しているのではなく、一度生成したCC12,CC13等のラジカルと電子との二次的な衝突で生成していると結論された。

The process of carbonization of water and carbon dioxide is regulated. The electron collision between the three chemical elements and the three chemical elements of the three chemical elements is detected by the light detection method. The measurement of excitation light emission lifetime and the generation process of electron excitation state are determined simultaneously. In particular, the CCl_2 (A) and CCl_2 (D') states of quaternary carbon (CCl_4) transition are different from those of the first transition state and the second transition state. The results of his experiments were the same. In addition, the formation process of CCl(A) and Cl_2(D') states was modulated. In addition to the above, the current position of the light source is also measured. The light emission at a long wavelength of 300nm is extremely strong, and the light emission at 180-300nm is mainly resolved. A method for estimating the temperature of a liquid crystal is proposed. The decomposition energy of CCl(A-X) is determined. The vibration and return distribution of A state is analyzed. The temperature is 350±50K and the temperature is 2.5 torr. The low pressure limit of MW discharge is close to (0.34torr) and the return temperature is 600±50K. The distribution ratio P(v'=1+2)/P(v'=0)=0.1 is obtained. The results of this study are compared with those of Li Guozhong's Cl(A) state. The collision between electrons and carbon molecules is directly generated. The collision between electrons and carbon molecules is directly generated. The collision between electrons and carbon molecules is directly generated. The collision between electrons and carbon molecules is directly generated. The collision between electrons and carbon molecules is generated.