X線散乱トポグラフ法による金属人工格子の構造評価に関する研究

X射线散射形貌法金属人工晶格结构评价研究

• 批准号: 03240201
• 负责人: 本堂 武夫
• 金额: $ 1.79万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1991
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1991 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03240201/
• 关键词: 金属人工格子; 垂直磁気異方性; X線回折; X線トポグラフィ; X線構造評価

本研究の目的は、X線散乱トポグラフ法を用いて、金属人工格子の構造不均一性を評価する方法を確立し、これを実際の金属多層膜の構造評価に応用することであり、以下のような成果を得た。(1)X線散乱トポグラフ撮影装置の開発:細束X線ビ-ムを金属人工格子表面に斜めに入射し、試料を走査しながら、散乱X線デ-タを自動的に収集する装置ならびにそのデ-タを解析・表示するソフトウェアを開発した。種々の検討の結果、多層構造の積層状態を反映する中角度域の散乱角に位置敏感検出器(PSPC)を設定して測定するのが最適であることを見いたした。また、主ピ-クの強度・半値幅だけではなく、サテライト・ピ-クの位置・強度も同時に測定できるように検出器を設定することが重要であることを見い出した。(2)Co/PdおよびCo/Au多層膜の構造評価:上記装置を用いて、実際の膜構造の評価を行なった。従来からX線回折による膜構造の評価は行なわれているが、それらは膜面の広い面積にわたる平均構造を調べるものであった。ここで開発した方法では、膜面内の構造不均一を画像として表示するものであり、不均一性を一目で見ることができる。その結果、高周波スパッタリング膜の構造が中央部から周辺部へと連続的に変化する様子が初めて明らかになった。この不均一性は、主として製造方法に依るものであるが、アニ-リングの効果も認められる等、多層膜の作製上重要な知見が得られた。今後、この方法を用いることによって、垂直磁気異方性の発現が膜構造とどのような関係にあるかを明らかにし、その発現機構の解明に役立てめ予定である。

は の purpose, this study X-ray scattered ト ポ グ ラ を フ method with い て, artificial metal grid の structural heterogeneity を review 価 す を る method establishing し, こ れ を be interstate の の metal multi-layer structure evaluation 価 に 応 with す る こ と で あ り, the following の よ う た を な achievements. (1) X-ray scattered ト ポ グ ラ フ pinch of shadow device の open 発 : fine beam X-ray ビ - ム を metal artificial surface grid に inclined め に incident し, sample を walkthrough し な が ら, scattered X-ray デ タ を automatic に 収 set す る device な ら び に そ の デ - タ を parsing, said す る ソ フ ト ウ ェ ア を open 発 し た. Kind of 々 の beg の 検 results, multilayer structure の horizon state を reflect す る in Angle domain の scattered Angle に location-aware 検 extractor (PSPC) を set し て determination す る の が optimum で あ る こ と を see い た し た. ま た, main ピ - ク の intensity, half numerical picture だ け で は な く, サ テ ラ イ ト · ピ - ク の も location, intensity に determination で き る よ う に 検 extractor を set す る こ と が important で あ る こ と を see い out し た. (2)Co/PdおよびCo/Au multilayer film <s:1> structure evaluation 価: the above device を uses <s:1> て, and the actual <s:1> film structure <e:1> evaluation 価を line なった. 従 to か ら X-ray inflexion に よ る membrane structure の review 価 は line な わ れ て い る が, そ れ ら は membrane の hiroo い area に わ た る average tectonic を adjustable べ る も の で あ っ た. こ こ で open 発 し た method で は portraits, membrane surface uneven の structure within a を と し て said す る も の で あ り uneven, a sexual を で see る こ と が で き る. そ の results, high frequency ス パ ッ タ リ ン の グ membrane structure the central part が か ら week 6 辺 へ と even 続 に variations change す る others in early child が め て Ming ら か に な っ た. こ の heterogeneity は, Lord と し に て manufacturing method according to the る も の で あ る が, ア ニ - リ ン グ の unseen fruit も recognize め ら れ る, multilayer film の cropping systems on important な know see が ら れ た. In the future, こ の way を with い る こ と に よ っ て, vertical magnetic 気 different sexual の 発 now が membrane structure と ど の よ う な masato is に あ る か を Ming ら か に し, そ の 発 institutions now の interpret に servants made て め designated で あ る.

项目成果

篠崎 忠明: "Pd/Co多層膜の作製条件と結晶配向性" 金属人工格子第4回研究会資料. 29 (1991)

Tadaaki Shinozaki：“Pd/Co多层膜的制造条件和晶体取向”第四届金属超晶格研究会议材料29（1991）。

K.Imaia: "Lattice strain near the interface of ZnSe deposited by molecular beam epitaxy on GaAs" Materials Science and Engineering. B9. 221-224 (1991)

K.Imaia：“通过分子束外延沉积在 GaAs 上的 ZnSe 界面附近的晶格应变”材料科学与工程。

T.Hondoh: "Preferred orientation of Co/Pd artificial superlattices" Research Report on Metallic Artificial Superlattice. 106-108 (1991)

T.Hondoh：“Co/Pd人工超晶格的择优取向”金属人工超晶格研究报告。