走査型X線トポグラフによる金属人工格子の構造評価に関する研究

利用扫描X射线形貌评估金属人工晶格的结构研究

• 批准号: 02254201
• 负责人: 本堂 武夫
• 金额: $ 1.02万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02254201/
• 关键词: 金属人工格子; 結晶配向性; 垂直磁気異方性; X線回折; X線トポグラフィ

本研究の目的は,X線回折法を用いて,金属人工格子の構造不均一性の評価方法を検討開発することであり,以下のような検討と装置開発を行った。(1)Co/Pd人工格子の構造評価法の検討:Co系多層膜はその垂直磁気異方性に特徴があり,この発現と結晶性の関係を明らかにすることが重要な課題になっている。金属多層膜がかなり乱れた構造を持っていることを考慮して,まずその結晶配向性をX線振動写真法および極点図形解析法によって調べた。その結果,垂直磁気異方性を示す膜が(110)配向を示す(他の膜は(111)配向を持つ)ことが初めて明らかになった。さらに,この配向性の膜面内不均一性をマッピングすることの重要性が明らかになった。(2)四軸解析計用試料面走査機構の設計・製作:上記(1)のような膜特性の面内分布を測定するために,四軸回析計ゴニオ上で試料をXーZ走査する自動ステ-ジを設計・製作した。回折曲線測定あるいは振動写真撮影と試料走査・デ-タ収集をコンピュ-タ制御の下で自動的に行うことができる。(3)回折曲線・写真撮影方法および画像表示方法の検討:金属多層膜を特徴づけるパラメ-タは多岐にわたるので,目的に応じてパラメ-タを選択する必要がある。本研究では,上記(1)の理由で結晶配向性に注目して検討を進めた。その結果,(111),(200),(110)反射強度の面内分布を測定表示することが最適との結論に達し,上記(1)の成果を得た。現在までのところ,面内分布に特に大きな不均一性は認められないが,試料の製作条件等によってはその相達があるものと期待され,本研究で開発した装置と手法は大いに有用である。

The purpose of this study is to develop an evaluation method for structural heterogeneity of metal artificial lattices by using X-ray reflection method. (1)Co A Study on the Structural Evaluation Method of/Pd Artificial Lattices: The Characteristics of Perpendicular Magnetic Anisotropy in Co-based Multilayers and the Relationship between Crystallization and Development are Important Issues. The structure of metal multilayer films is considered by X-ray vibration photography and pole shape analysis. As a result, the perpendicular magnetic anisotropy shows that the film has a (110) alignment (the other film has a (111) alignment). The importance of the in-plane heterogeneity of the film alignment is clear. (2)Design and fabrication of sample plane inspection mechanism for four-axis analyzer: Design and fabrication of automatic sample plane inspection mechanism for four-axis analyzer for measuring in-plane distribution of film characteristics in (1) above. Back curve measurement, vibration analysis, sample search, sample collection, automatic control, etc. (3)A Study on the Method of Photographic Image and the Method of Image Representation: The Characteristics of Metal Multilayer Films and the Selection of Multilayer Films. In this study, the reasons for (1) above are discussed. The results of (111),(200) and (110) are obtained by measuring the in-plane distribution of reflection intensity. Now, the in-plane distribution is very heterogeneous, and the preparation conditions of the samples are expected to reach each other. This study has developed a device method that is very useful.

项目成果

T.Takama: "Measurements of Xーray Pendello^^″sung beats from heatーtreated silicon stngle crystabs" Acta cryst.A46. C42-C42 (1990)

T.Takama：“X 射线 Pendello 的测量^^”从热处理的硅单晶中唱出的节拍”Acta crystal.A46.C42-C42 (1990)

本堂 武夫・高間 俊彦・後藤 明・篠崎 忠明: "X線散乱ラジオグラフィによる金属人工格子の構造評価法" 金属人工格子第1回研究会資料. 92-93 (1990)

Takeo Hondo，Toshihiko Takama，Akira Goto，Tadaaki Shinozaki：“使用X射线散射射线照相的金属人造晶格的结构评估方法”金属人造晶格第一研究组的材料92-93（1990）。

T.Hondoh,R.Hoshi,A.Goto,H.Yamagami: "A now method using synchrotronーradiation topography for determining pointーdefect diffusirity under hydrostatic pressure" Philosophical Magazine Letters. 63. 1-5 (1991)

T.Hondoh、R.Hoshi、A.Goto、H.Yamagami：“一种使用同步辐射地形学来确定静水压力下点缺陷扩散性的方法”《哲学杂志快报》63. 1-5 (1991)。

T.Hondoh,T.Takama,T.Shinozaki,A.Takahashi,A.Yamaguchi,R.Yamamoto: "Preffered orientation of Co/Pol Artificial Superlattices"

T.Hondoh，T.Takama，T.Sinozaki，A.Takahashi，A.Yamaguchi，R.Yamamoto：“Co/Pol人工超晶格的择优取向”