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アーク放電法における高効率フラーレン生成条件とプラズマパラメータ

アーク放電法における高効率フラーレン生成条件とプラズマパラメータ
电弧放电法高效富勒烯生产条件及等离子体参数
批准号:
06224216
负责人:
榊原 建樹
金额:
$1.28万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份:
1994
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1994 至 --

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
最も効率的にフラーレンを生成できるプロセスパラメータを種々の手法を駆使して追求した。これまで、重要なプロセスパラメータは圧力や電極間ギャップ長であると言われていたが、本研究では、雰囲気ガスをヘリウム、電流は直流とし、圧力、電流値、ギャップ長、電極直径、冷却半径、および陰極材料をパラメータとして、フラーレンを生成した。新しく作成したアークチャンバは、ギャップ長を容易に制御できる構造とした。一方、アーク電圧をモニターすることににより、電極間ギャップ長を正確に制御できる手法を開発した。平行して、プラズマパラメータ、すなわち、プラズマ構成粒子、温度の空間分布、粒子の空間分布を計測した。まず、フラーレンを生成しているプラズマ空間からの発光スペクトルをモノクロメータを用いて全波長に渡って計測した。次に、フレーレンに特有なスペクトルに着目し、その微細構造を高精度モノクロメータ(ジョバン-イボン社、520-13-11T)で計測した。さらに、特定のスペクトルの放射強度の時間変動を、アーク電圧・電流の変動とともに計測した。このような計測を実施することによって、フラーレンが生成される最適なプラズマパラメータが特定できた。また、連続放射光源を用いて、プラズマ空間におけるフラーレンによる吸収スペクトルを計測した。このことにより、フラーレンが生成されるプラズマ領域が特定でき、フラーレンが生成されるメカニズムを見いだすことが可能となった。
英文摘要
最も効率的にフラーレンを生成できるプロセスパラメータを種々の手法を駆使して追求した。これまで、重要なプロセスパラメータは圧力や電極間ギャップ長であると言われていたが、本研究では、雰囲気ガスをヘリウム、電流は直流とし、圧力、電流値、ギャップ長、電極直径、冷却半径、および陰極材料をパラメータとして、フラーレンを生成した。新しく作成したアークチャンバは、ギャップ長を容易に制御できる構造とした。一方、アーク電圧をモニターすることににより、電極間ギャップ長を正確に制御できる手法を開発した。平行して、プラズマパラメータ、すなわち、プラズマ構成粒子、温度の空間分布、粒子の空間分布を計測した。まず、フラーレンを生成しているプラズマ空間からの発光スペクトルをモノクロメータを用いて全波長に渡って計測した。次に、フレーレンに特有なスペクトルに着目し、その微細構造を高精度モノクロメータ(ジョバン-イボン社、520-13-11T)で計測した。さらに、特定のスペクトルの放射強度の時間変動を、アーク電圧・電流の変動とともに計測した。このような計測を実施することによって、フラーレンが生成される最適なプラズマパラメータが特定できた。また、連続放射光源を用いて、プラズマ空間におけるフラーレンによる吸収スペクトルを計測した。このことにより、フラーレンが生成されるプラズマ領域が特定でき、フラーレンが生成されるメカニズムを見いだすことが可能となった。
期刊论文(8)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
M.Sakaki,T.Sakakibara: "Excitation,Ionization,and Reaction Mechanism of a Reactive Cathodic Arc Depostion of TiN" IEEE Transactions on Plasma Science. 22. 1049-1054 (1994)
M.Sakaki、T.Sakakibara:“TiN 反应阴极电弧沉积的激发、电离和反应机制”IEEE 等离子科学汇刊。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
中川,松尾,滝川,榊原: "希ガス中アーク放電におけるフラーレン生成と放射スペクトル" 第8回フラーレン総合シンポジウム講演要旨集. 74-78 (1995)
Nakakawa、Matsuo、Takikawa、Sakakibara:“稀有气体中电弧放电中的富勒烯产生和发射光谱”第八届富勒烯研讨会摘要 74-78 (1995)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
松尾,滝川,飯嶋,榊原: "高温炭素蒸気からの放射スペクトルとフラーレン生成用炭素アークの温度" 電気学会論文誌A. 114. 869-874 (1994)
Matsuo、Takikawa、Iijima、Sakakibara:“用于富勒烯生产的高温碳蒸气和碳弧温度的发射光谱” 日本电气工程师学会会刊 A. 114. 869-874 (1994)
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
松尾,飯嶋,滝川,榊原: "フラーレン生成に及ぼす電極電流密度の影響とアークの温度分布" 第8回フラーレン総合シンポジウム講演要旨集. 79-83 (1995)
Matsuo、Iijima、Takikawa、Sakakibara:“电极电流密度对富勒烯生成和电弧温度分布的影响”第 8 届富勒烯研讨会摘要 79-83(1995 年)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
大気圧メソプラズマ・グライディングアークのマルチ化
真空アーク蒸着法によるアモルファスカーボン薄膜の効率的生成に関する研究
  • 批准号:
    05650298
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.22万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    榊原 建樹
  • 依托单位:
アーク放電法におけるフラーレン生成機構の分光学的研究
  • 批准号:
    05233219
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.6万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    榊原 建樹
  • 依托单位:
極低温ケーブルの絶縁破壊時に発生する高周波アークプラズマの研究
  • 批准号:
    56550196
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $1.15万
  • 财政年份:
    1981
  • 负责人:
    榊原 建樹
  • 依托单位:
海外基金