课题基金 / 基金详情

完全界面制御プロセスによる機能調和素子創成

完全界面制御プロセスによる機能調和素子創成
通过完整的界面控制流程创建功能和谐的元素
批准号:
13025228
负责人:
田畑 仁
金额:
$26.94万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份:
2001
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2001 至 2003

项目摘要

项目成果

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(1)日本初のオリジナルのメモリデバイス作製:シリコンと強誘電体薄膜のインテグレーションを目指し実施中の研究により、従来の酸化物強誘電体材料の持つ欠点を克服する新材料として、スピングラス、双極子グラス、ワイドギャップ酸化物半導体(ZnO等)物質を選定し、シリコン半導体素子へのインテグレーションを実施した。さらにナノ電極^*間にDNA等の有機メモリ分子を組み込んだナノ構造制御メモリ素子も作製。(2)メモリデバイスの量子サイズ効果と集積化素子特性評価:(1)で選択したメモリ材料の素子サイズ(膜厚、パターン形状)の変化に伴う、メモリ特性(誘電率、磁化率)の変化を調べ、誘電体の電子分極および磁性体のスピンとの相関を明らかにし、デバイスとして動作する物理的な集積化の限界を明らかにした。特に、極限のサイズ領域(10-20nm膜厚)における、誘電物性の変化(量子効果)を評価するため、原子間力顕微鏡(AFM)に組み込んだ誘電物性評価装置を用いて、集積化時の素子特性を明らかにした。^<**>名取(筑波大)らの理論的予測と比較して考察を行った。また、ナノスケールへの集積化時に課題となる、完全界面制御を確立するため、これまでに構築してきたシリコン(100)および(111)表面上へ形成した強誘電体薄膜、およびバッファー層に使用する極薄(1nm程度)SiON形成技術を確立した。この為の界面評価は高分解能TEMを用いた^<***>。*、**、***については、堀池(東大)、一木(東洋大)、名取(筑波大)、田中(名大)らと共同して進めた。
期刊论文(128)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
J.H.Gu: "Electric conductivity of dye modified DNA films with and without light irradiation in various humidities"J. Appl. Phys.. 92. 2816-2820 (2002)
J.H.Gu:“不同湿度下有光照射和无光照射的染料修饰 DNA 薄膜的电导率”J.
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
H.Nishikawa: "Preparation of directly stacked YBa_2Cu_3O_7-delta/oxide magnetic material thin films on Al_2O_3(0001)substrate"Supercond. Sci. & Tech.. 15. 170-173 (2002)
H.Nishikawa:“在Al_2O_3(0001)衬底上直接堆叠YBa_2Cu_3O_7-δ/氧化物磁性材料薄膜的制备”Supercond。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
64
    Investigating the hybrid quantum magnonic system for next-generation quantum information processing
    • 批准号:
      23KF0139
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额:
      $1.47万
    • 财政年份:
      2023
    • 负责人:
      田畑 仁
    • 依托单位:
    Ultra-sensitive biomagnetic sensor based on spin wave quantum interference and stochastic resonance information processing
    • 批准号:
      22K18804
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额:
      $4.08万
    • 财政年份:
      2022
    • 负责人:
      田畑 仁
    • 依托单位:
    Ultra High Sensitive Electric Nose for Medical Engineering Applications
    • 批准号:
      20H05651
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
    • 资助金额:
      $125.8万
    • 财政年份:
      2020
    • 负责人:
      田畑 仁
    • 依托单位:
    生体ゆらぎを模倣するリラクサー・スピングラス材料創製と情報処理デバイス研究
    • 批准号:
      21656158
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额:
      $2.05万
    • 财政年份:
      2009
    • 负责人:
      田畑 仁
    • 依托单位:
    海外基金