ナノ加工・計測を駆使したダメージ層を最小化する次世代半導体基板研削機構の解明
阐明使用纳米加工和测量最大限度地减少损伤层的下一代半导体基板研磨机制
基本信息
- 批准号:23K26006
- 负责人:
- 金额:$ 4.33万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份:2024
- 资助国家:日本
- 起止时间:2024-02-28 至 2027-03-31
- 项目状态:未结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
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会议论文数量(0)
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