课题基金 / 基金详情

ナノ加工・計測を駆使したダメージ層を最小化する次世代半導体基板研削機構の解明

ナノ加工・計測を駆使したダメージ層を最小化する次世代半導体基板研削機構の解明
阐明使用纳米加工和测量最大限度地减少损伤层的下一代半导体基板研磨机制
批准号：
23K26006
负责人：
清水 淳
金额：
$4.33万
依托单位：
Ibaraki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-02-28 至 2027-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23K26006/
关键词：

项目摘要

项目成果

清水 淳的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Clarification of Grinding Mechanism of Next Generation Semiconductor Substrates for Minimizing the Damaged Layers Using Nanomachining and Metrology
  • 批准号：
    23H01311
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $12.31万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    清水 淳
  • 依托单位：
    Ibaraki University
掘起し現象のMEMS利用に関する研究
  • 批准号：
    20656028
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.24万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    清水 淳
  • 依托单位：
    Ibaraki University
Siおよび次世代半導体基板材料の無欠陥加工メカニズムと最適加工環境・条件の解明
  • 批准号：
    17760099
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $1.73万
  • 财政年份：
    2005
  • 负责人：
    清水 淳
  • 依托单位：
    Ibaraki University
老齢マウス由来免疫抑制性CD4T細胞の抑制機構解析
  • 批准号：
    16043262
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $3.78万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    清水 淳
  • 依托单位：
    Tokyo Metropolitan Institute of Gerontology