テルル化亜鉛ホキエピタキシヤル膜の有機金属化学気相法による成長と成長機構の解明

有机金属化学气相沉积碲化锌箔外延膜的生长及其生长机理的阐明

• 批准号: 63604021
• 负责人: 小川 博司
• 金额: $ 1.54万
• 依托单位: Saga University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63604021/
• 关键词: 有機金属化学気相成長; テルル化亜鉛; ガス分析; 四重極質量分析計; 紫外光吸収測定; ジメチル亜鉛; ジエチルテルル

ジメチル亜鉛(DMZn)、ジエチルテルル(DETe)を原料としたテルル化亜鉛の有機金属化学気相成長系の反応機構を明らかにすることを目的として、四重極質量分析計および紫外光吸収測定装置を用いたガス分析のその場測定を試みた。本年度の成果は以下の通りである。1.四重極質量分析計によるガス分析(1)水素をキャリアガスとした場合、DMZn、DETeの熱分解は、それぞれ350℃、400℃から始まる。一方、ヘリウムをキャリアガスとした場合、これらの分解は、水素に比べて約50℃高くなる。従って、DETeがDMZnより熱的に安定であること、水素が反応に大きく関与すること等が結論できた。(2)反応生成物が同定でき、その分圧の大小関係は次のようになっていた。水素の場合、メタン>エタン>>プロパン、nーブタンであり、ヘリウムの場合、メタン、プロパン>>nーブタンであった。2.紫外光吸収測定装置によるガス分析(3)DETeの熱分解特性を明らかにし、1.の結果に基づいてモデルを立て、この特性に適用し分解エンタルピーを求めた。分解エンタルピーの値は、成長特性から得られた活性化エネルギーと良く一致していた。このことから、成長はDETeの熱分解特性に支配されることが結論できた。(4)モデルは、成長条件を変えた場合にも実験値と良く一致することが分かり、非常に有用であると結論できた。

ジ メ チ ル 亜 lead (DMZn), ジ エ チ ル テ ル ル (DETe) を と し た テ ル ル change 亜 lead の organometallic chemistry 気 phase growth is の を 応 authorities Ming ら か に す る こ と を purpose と し て, four heavy quality analysis meter お よ び ultraviolet absorption 収 を measurement device with い た ガ ス analysis の そ の field measurement を try み た. The <s:1> achievements of this year are as follows: である である. 1. The four heavy polar quality analysis meter に よ る ガ ス analysis (1) the water element を キ ャ リ ア ガ ス と し た occasions, DMZn, DETe の pyrolysis は, そ れ ぞ れ 350 ℃, 400 ℃ か ら beginning ま る. On one side, ヘリウムをキャリアガスと ヘリウムをキャリアガスと た occasions, れら れら <s:1> decomposition, and water に is くなる higher than べて at about 50℃. 従 っ て, DETe が DMZn よ り hot に settle で あ る こ と, water element が 応 に big き く masato and す る こ と etc が conclusion で き た. (2) The reverse 応 product が is related to the size of the で で and そ <s:1> pressure divider, and the <s:1> order of ようになって ようになって た た た. Water element の occasions, メ タ ン > エ タ ン > > プ ロ パ ン, n ー ブ タ ン で あ り, ヘ リ ウ ム の occasions, メ タ ン, プ ロ パ ン > > n ー ブ タ ン で あ っ た. 2. Ultraviolet absorption 収 measurement device に よ る ガ ス analysis (3) the DETe の thermal decomposition characteristics of を Ming ら か に し, 1. の results に づ い て モ デ ル を て, こ の features に し decomposition エ ン タ ル ピ ー を o め た. Decomposition エ ン タ ル ピ ー の numerical は, growth characteristics, か ら must ら れ た activeness エ ネ ル ギ ー と good く consistent し て い た. The thermal decomposition characteristics of <s:1> と ら and growth <s:1> DETe <s:1> に dominate される とが とが conclusion で た た. (4) モ デ ル は を, growth conditions - え た occasions に も be 験 consistent good numerical と く す る こ と が points か り, very useful に で あ る と conclusion で き た.

项目成果

小川博司,西尾光弘,森永和人: 日本結晶成長学会誌. 15(1). 58 (1988)

Hiroshi Okawa、Mitsuhiro Nishio、Kazuto Morinaga：日本晶体生长学会杂志 15(1) 58 (1988)。

小川博司,西尾光弘,森永和人: 日本結晶成長学会誌. 15(1). 57 (1988)

Hiroshi Okawa、Mitsuhiro Nishio、Kazuto Morinaga：日本晶体生长学会杂志 15(1) 57 (1988)。

H.Ogawa;M.Nishio: J.Appl.Phys. 64(12). 6750-6753 (1988)

H.Okawa；M.Nishio：J.Appl.Phys。

西尾光弘,小川博司,籠田和徳: 佐賀大学理工学部集報. 17(1). 19-26 (1988)

Mitsuhiro Nishio、Hiroshi Okawa、Kazunori Kagota：佐贺大学科学与工程学院通报 17(1) (1988)。

A.Yoshida;Y.Saito;K.Inoue;H.Ohashi;H.Ogawa;K.Shobatake: UVSOR ACTIVITY REPORT. 1987 15. 70-71 (1988)

A.Yoshida；Y.Saito；K.Inoue；H.Ohashi；H.Okawa；K.Shobatake：UVSOR 活动报告。