有機金属化学気相法によるp-n接合テルル化亜鉛発光素子の試作と特性

有机金属化学气相法p-n结碲化锌发光器件的原型制作及特性

• 批准号: 06650368
• 负责人: 小川 博司
• 金额: $ 1.15万
• 依托单位: Saga University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06650368/
• 关键词: MOVPE; ZnTe; オーミックコンタクト

発光ダイオードを実現する上での重要な因子は、p-n接合と電極形成であり、それぞれについて下記のとうり研究を行った。〔p-n接合の形成〕: ディメチル亜鉛(DMZn)とディエチルテルル(DETe)を原料ガスとし、トリエチルアルミ(TEAl)をn形のドーパントとした有機金属気相エピタキシャル成長法(MOVPE)を用いて、ブリイジマン法にて育成したp形のテルル化亜鉛基板上にホモエピタキシャル成長を行った。得られた成長層は、低抵抗でn形の電導形(例えば、〜0.3Ω・cm、移動度 〜200cm^2/V・s)を示した。そこで、n形の成長層を再現性良く、かつ制御性良く得るための成長条件とド-ピング条件を確立した。また、ホトルミネッセンセンス法による光学的評価を行った所、A1が結晶中に有効に取り込まれている事が判った。〔電極形成及びダイオード特性〕: 金(Au),マンガン(Mn)及び タングステン(W)等を電極材とし、メッキ法、真空蒸着法等を用いて電極形成を行った。電極としての適応性を電気的方法等を用いて評価した所、Au/Wの二層構造が最適であった。試作したダイオードは、典型的な特性を示したが、充分な電流密度が得られず、発光には到らなかった。その原因として電極のオーミックコンタクトの問題が考えら、電極材、構造及び形成方法についてのより一層の研究が必要である。本研究の成果の一部は、Jpn.J.Appl.Phys.vol.33(1994)pp.L980 等に報告した。

An important factor in the development of light sources is the formation of p-n junctions. [p-n junction formation]: DMZn, DETe, TEAl, n, MOVPE, MOVPE. The resulting growth layer has a low resistance and n-shape conductivity (e.g.,~ 0.3Ω·cm, mobility ~ 200cm^2/V·s). The growth conditions of the n-shaped layer are good for reproducibility and good for control. In addition, the optical evaluation method is used to evaluate the optical properties of A1 crystals. [Electrode formation and characteristics]: gold (Au), manganese (Mn) and titanium (W), etc. electrode materials, such as copper, vacuum evaporation method, etc. electrode formation The method of electrode selection and conductivity evaluation is the most suitable for Au/W two-layer structure. Try to make a difference, typical characteristics, sufficient current density, light emission It is necessary to investigate the reasons for the electrode formation, electrode materials, structures and formation methods. Part of the results of this study are reported in Jpn. J. Appl. Phys. vol. 33 (1994) pp. L980.

项目成果

小川博司: "Synchrotron radiation excited growth of ZnTe Using metalorganic Sources" J.Cryst.Growth. (in press).

Hiroshi Okawa：“使用金属有机源同步加速器辐射激发 ZnTe 的生长”J.Cryst.Growth（印刷中）。

小川博司: "Photoluminescence Properties of ZnTe layers grown by photo-assisted MOVPE" J.Cryst.Growth. (in press).

Hiroshi Okawa：“光辅助 MOVPE 生长的 ZnTe 层的光致发光特性”J.Cryst.Growth（正在出版）。

小川博司: "Growth of low-resistivity n-type ZnTe by metalorganic Vapor Phase epitaxy" Jpn.J.Appl.Phys. 33. L980-982 (1994)

Hiroshi Okawa：“通过金属有机气相外延生长低电阻率 n 型 ZnTe”Jpn.J.Appl.Phys 33. L980-982 (1994)

小川博司: "Low temperature growth of ZnTe by Synchrotron radiation Using metalor-ganic Source" J.Vac.SciTechnol.A12. 278-281 (1994)

Hiroshi Okawa：“利用金属有机源通过同步辐射实现 ZnTe 的低温生长”J.Vac.SciTechnol.A12 (1994)。