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プラズマガス(メタン・シラン等)の電子による励起解離過程の解析

等离子气体（甲烷、硅烷等）电子诱导激发解离过程分析

基本信息

批准号：
63632519
负责人：
小川禎一郎
金额：
$ 1.15万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

プラズマ過程で重要な水・シランを試料に、電子による励起解難過程の解析を行い、励起水素原子の生成断面積を求めた。1.装置の改良……助成金により隔膜型圧力計を購入し電子-分子衝突室に取りつけ、測定中の試料圧をモニターし、断面積が正確に測定できるようにした。助成金によりメモリーボードを購入し、現有のコンピュータに組み込み、データ解析能力を向上させた。2.断面積測定法……電子-分子衝突による発光断面積を測定する手法について吟味し、次の諸点の吟味が必要なことを示した。【○!1】分光測定及び圧力測定の絶対較正【○!2】カスケード効果の補正【○!3】測定領域からの逃げの補正【○!4】スペクトル線の純度。これらの諸点の内でも第3点と第4点については従来ほとんど考慮されていない。3.水の測定と解析……水の電子衝撃で生成した励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形を、従来よりも高い精度で再測定し解析した。水の4つの主要な励起水素原子生成過程につき角度差ドプラー線形を求めて励起過程の対称性を決めるとともに、並進運動エネルギー分布により解離過程を分類しそれらの生成断面積を求め、プラズマ過程のシミュレーションに必要なデータをえた。4.シランの測定と解析……シランの電子衝撃により生成する励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形をファブリペロ干渉計により高分解能で測定した。4つの主要な励起水素原子生成過程があった。それらのしきい値と並進運動エネルギー分布はそれぞれ、(1)19-21eV、0-2eV、(2)23-25eV、0-2eV、(3)35-40eV、2-5eV、(4)50-60eV、6-10eVであった。これらの励起水素原子の並進運動エネルギー分布別の発光断面積を求めた。

The analysis of the excitation process and the formation of the cross-sectional area of the excited water atom are important in the process of excitation. 1. The improvement of the device.............................................................. Help to improve the quality of the product. 2. Cross-sectional area determination method…electron-molecule collision detection light cross-sectional area determination method【○! 1) Absolute correction of spectroscopic and pressure measurements [○! 2] 3] Measurement field [○! 4) Purity of the line. The third point is the fourth point. The fourth point is the fourth point. 3. The determination and analysis of water.......................................... The four main components of water excitation are the symmetry of the excitation process, the symmetry of the excitation process, the distribution of the excitation process, the classification of the dissociation process, the calculation of the cross-section area of the excitation process, and the necessary parameters of the excitation process. 4. Determination and analysis of electron impact on the formation of excited water atoms, α and β lines, and determination of high decomposition energy in dry calculation. 4. The process of water atom formation is mainly stimulated. (1)19-21eV, 0-2eV,(2)23- 2 - 5eV, 0 - 2eV,(3)35-40eV, 2-5eV,(4)50-60eV, 6-10eV. The excitation of water atoms and the evolution of the distribution of light cross-sectional area are calculated.