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プラズマガス(メタン・シラン等)の電子による励起解離過程の解析

プラズマガス(メタン・シラン等)の電子による励起解離過程の解析
等离子气体（甲烷、硅烷等）电子诱导激发解离过程分析
批准号：
63632519
负责人：
小川 禎一郎
金额：
$1.15万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1988 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-63632519/
关键词：
電子衝撃断面積ドプラー線形励起水素原子並進運動エネルギー分布プラズマ

项目摘要

项目成果

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プラズマ過程で重要な水・シランを試料に、電子による励起解難過程の解析を行い、励起水素原子の生成断面積を求めた。1.装置の改良……助成金により隔膜型圧力計を購入し電子-分子衝突室に取りつけ、測定中の試料圧をモニターし、断面積が正確に測定できるようにした。助成金によりメモリーボードを購入し、現有のコンピュータに組み込み、データ解析能力を向上させた。2.断面積測定法……電子-分子衝突による発光断面積を測定する手法について吟味し、次の諸点の吟味が必要なことを示した。 【○!1】分光測定及び圧力測定の絶対較正 【○!2】カスケード効果の補正 【○!3】測定領域からの逃げの補正 【○!4】スペクトル線の純度。これらの諸点の内でも第3点と第4点については従来ほとんど考慮されていない。3.水の測定と解析……水の電子衝撃で生成した励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形を、従来よりも高い精度で再測定し解析した。水の4つの主要な励起水素原子生成過程につき角度差ドプラー線形を求めて励起過程の対称性を決めるとともに、並進運動エネルギー分布により解離過程を分類しそれらの生成断面積を求め、プラズマ過程のシミュレーションに必要なデータをえた。4.シランの測定と解析……シランの電子衝撃により生成する励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形をファブリペロ干渉計により高分解能で測定した。4つの主要な励起水素原子生成過程があった。それらのしきい値と並進運動エネルギー分布はそれぞれ、(1)19-21eV、0-2eV、(2)23-25eV、0-2eV、(3)35-40eV、2-5eV、(4)50-60eV、6-10eVであった。これらの励起水素原子の並進運動エネルギー分布別の発光断面積を求めた。
期刊论文(8)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
T.Ogawa;H.Tomura;K.Nakashima;H.Kawazumi: Journal of Chemical Physics. 88. 423-4267 (1988)
T.Okawa；H.Tomura；K.Nakashima；H.​​Kawazumi：化学物理学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Ogawa;M.Taniguchi;K.Nakashima;H.Kawazumi: Chemical Physics.
T.Okawa；M.Taniguchi；K.Nakashima；H.​​Kawazumi：化学物理学。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
K.Nakashima;T.Ogawa: Atomic Collision Researches in Japan. 14. 20-20 (1988)
K.Nakashima；T.Okawa：日本的原子碰撞研究。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Ogawa;M.Tsukada;K.Nakashima: Atomic collision Researches in Japan. 14. 21-21 (1988)
T.Okawa；M.Tsukada；K.Nakashima：日本的原子碰撞研究。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
レーザー2光子イオン化法及びレーザー高調波発生法による溶液界面での高感度分析
  • 批准号：
    96F00250
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $0.77万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    小川 禎一郎
  • 依托单位：
    Kyushu University
自動イオン化で放出される電子のエネルギー分布と角度分布の測定
  • 批准号：
    09874117
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    小川 禎一郎
  • 依托单位：
    Kyushu University
水溶液表面での深さ方向濃度分布
  • 批准号：
    08874068
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.54万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    小川 禎一郎
  • 依托单位：
    Kyushu University
水溶液表面での光反応ダイナミクス
  • 批准号：
    07228253
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.41万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    小川 禎一郎
  • 依托单位：
    Kyushu University
海外基金