プラズマガスの電子との衝突による励起解離過程と発光断面積

等离子气体与电子碰撞引起的激发解离过程和发射截面

基本信息

批准号：
01632517
负责人：
小川禎一郎
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
起止时间：
1989 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632517/
关键词：
プラズマ電子衝突解離断面積励起水素原子シランエチレン

项目摘要

1)装置の改良……助成金によりマイクロコンピュタ-を購入し測定と解析の自動化・効率化を行い、また真空バルブを購入し排気系の操作性の効率を高めた。赤外部の発光スペクトル測定装置の改良と調整を行い精度の高い測定を可能とするよう試みた。2)シラン測定……シランと電子の衝突により生成する励起水素原子のバルマ-線をファブリペロ-干渉計により高分解能で測定し、ドプラ-線形より励起水素原子の並進運動エネルギ-分布を求めた。これをもとに励起水素原子の並進運動エネルギ-別の生成断面積及びその電子エネルギ-依存性を求めた。3つの成分の生成断面積の電子エネルギ-依存性は互いに異なることを見いだした。3)エチレンの測定……同様の手法でエチレンと電子の衝突により生成する励起水素原子の並進運動エネルギ-分布を求めた。励起水素原子には4つの成分があることを見いだした。それらの並進運動エネルギ-分布の中心としきい値は、しきい値の低い順に(1)0.5-1eV,19.2eV,(2)2eV,23.9eV,(3)3-5eV,39eV,(4)5-10eV,?。また40eVでの角度差ドプラ-線形は上に凸であり、励起水素原子は電子ビ-ムの方向に遷移モ-メントがある遷移により生成している。4)方位量子数別生成断面積……従来断面積の測定はせいぜい主量子数別にしかされておらず、方位量子数別の取扱いは未開拓の分野である。以前、水素と電子の衝突により見られるバルマ-線のdecay curveの解析により励起水素原子(n=4)の4s,4p,4dの断面積を求めていたが、このたび赤外領域のパッシェン線の断面積の測定を行い、4fの生成断面積の測定を試みた。赤外部の発光測定は未開拓の分野であり、実験上の困難が多く、定量的な結果は今後の課題である。

1）设备改进...授予该赠款以购买微型计算机来自动化和提高测量和分析效率，以及真空阀以提高排气系统可操作性的效率。我们试图改进和调整外部发射光谱测量设备，以实现高度准确的测量。 2）硅烷测量：用硅烷和电子之间的碰撞产生的激发氢原子的巴尔玛线通过高分辨率的Fabry-perot干涉仪测量，并根据多普勒系列确定激发氢原子的转化动能分布。基于此，确定了由转化动能产生的激发氢原子的横截面及其对电子能量的依赖性。我们发现，这三个组成部分的地层横截面区域的电子能量依赖性彼此不同。 3）乙烯的测量：使用类似的技术来确定乙烯和电子之间碰撞产生的激发氢原子的平移动能分布。发现有四个激发氢原子的组成部分。它们的翻译动能分布的中心和阈值是（1）0.5-1ev，19.2ev，（2）2ev，23.9ev，（3）3-5EV，39EV，39EV，（4）5-10EV，？，按最低阈值顺序。此外，在40 eV处的角差多普勒线性向上凸，并且激发的氢原子是通过沿电子束方向的过渡矩的过渡产生的。 4）通过方向量子数生成的横截面面积...通常，横截面区域的测量最多仅通过主量子数来完成，而定向量子数的处理是未探索的字段。以前，我们通过分析Balma系的衰减曲线，确定了激发氢原子的4s，4p，4D，4D的横截面面积，这是通过氢电子碰撞可以看出的。但是，我们现在测量了红外区域中帕申线的横截面区域，并试图测量4F形成的横截面区域。外部排放测量是一个未开发的领域，并且存在许多实验困难，定量结果是未来的挑战。