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プラズマガスの電子との衝突による励起解離過程と発光断面積

等离子气体与电子碰撞引起的激发解离过程和发射截面

基本信息

批准号：
01632517
负责人：
小川禎一郎
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1989
资助国家：
日本
起止时间：
1989 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632517/
关键词：
プラズマ電子衝突解離断面積励起水素原子シランエチレン

项目摘要

1)装置の改良……助成金によりマイクロコンピュタ-を購入し測定と解析の自動化・効率化を行い、また真空バルブを購入し排気系の操作性の効率を高めた。赤外部の発光スペクトル測定装置の改良と調整を行い精度の高い測定を可能とするよう試みた。2)シラン測定……シランと電子の衝突により生成する励起水素原子のバルマ-線をファブリペロ-干渉計により高分解能で測定し、ドプラ-線形より励起水素原子の並進運動エネルギ-分布を求めた。これをもとに励起水素原子の並進運動エネルギ-別の生成断面積及びその電子エネルギ-依存性を求めた。3つの成分の生成断面積の電子エネルギ-依存性は互いに異なることを見いだした。3)エチレンの測定……同様の手法でエチレンと電子の衝突により生成する励起水素原子の並進運動エネルギ-分布を求めた。励起水素原子には4つの成分があることを見いだした。それらの並進運動エネルギ-分布の中心としきい値は、しきい値の低い順に(1)0.5-1eV,19.2eV,(2)2eV,23.9eV,(3)3-5eV,39eV,(4)5-10eV,?。また40eVでの角度差ドプラ-線形は上に凸であり、励起水素原子は電子ビ-ムの方向に遷移モ-メントがある遷移により生成している。4)方位量子数別生成断面積……従来断面積の測定はせいぜい主量子数別にしかされておらず、方位量子数別の取扱いは未開拓の分野である。以前、水素と電子の衝突により見られるバルマ-線のdecay curveの解析により励起水素原子(n=4)の4s,4p,4dの断面積を求めていたが、このたび赤外領域のパッシェン線の断面積の測定を行い、4fの生成断面積の測定を試みた。赤外部の発光測定は未開拓の分野であり、実験上の困難が多く、定量的な結果は今後の課題である。

1)The improvement of the equipment is to improve the automation, efficiency and operability of the exhaust system. An improved measurement device for infrared radiation 2) Determination of the electron collision between the excited water atom and the electron generation between the excited water atom and the electron generation between the excited water atom and the electron. This combination encourages the parallel movement of water atoms and the dependence of other generated cross-sectional areas and other electronic components on each other. 3. The composition and the generation of cross-section area of electron are dependent on each other. 3) The determination of the electron collision and the generation of the excitation of the water atom movement and the distribution of the electron collision. The water atom is excited. (1)0.5- 1eV, 19.2eV,(2) 2eV, 23.9eV,(3)3-5eV, 39eV,(4)5- 10eV,? The angle difference of 40eV is the upward convex shape, which excites the migration of water atoms in the direction of electron rotation. 4)Azimuth quantum number generated cross-section area……In the past, the analysis of the decay curve of the hydrogen atom (n=4) and the determination of the cross-sectional area of the hydrogen atom (n=4) and the formation of the cross-sectional area of the hydrogen atom (n = 4) were carried out. The measurement of red light has not been developed, and the difficulties in the future are many and quantitative.