Improvement in the sensitiity of semiconductor CO2 sensors and their integration based on MEMS technology
Improvement in the sensitiity of semiconductor CO2 sensors and their integration based on MEMS technology
基于MEMS技术的半导体CO2传感器灵敏度的提高及其集成
批准号：
15K18049
负责人：
Iwata Tatsuya
金额：
$2.58万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2017-03-31
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PROPOSAL OF STRESS-TOLERANT MICRO-HOTPLATES WITH SU-8 SUSPENSION FOR SMART GAS SENSING SYSTEM
用于智能气体传感系统的带有 SU-8 悬架的耐应力微热板的提案
用于智能气体传感系统的带有 SU-8 悬架的耐应力微热板的提案
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Tatsuya Iwata, Carine Wei Soo Ping, Kyosuke Matsuda, Kazuhiro Takahashi, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada]
通讯作者：
Kazuaki Sawada
DOI：
10.1088/1361-6439/aa556b
发表时间：
2017-02-01
期刊：
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
影响因子：
2.3
作者：
[Iwata, T., Soo, W. P. C., Sawada, K.]
通讯作者：
Sawada, K.
La2O3/SnO2積層素子を用いたMEMS CO2センサの検出特性
La2O3/SnO2叠层元件MEMS CO2传感器的检测特性
La2O3/SnO2叠层元件MEMS CO2传感器的检测特性
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[岩田達哉, Carine Soo Wei Ping, 松田恭輔, 高橋一浩, 澤田和明]
通讯作者：
澤田和明
Metal Oxide CO2 Sensor Integrated with Microhotplate for Low Power Operation
金属氧化物 CO2 传感器与微热板集成，实现低功耗运行
金属氧化物 CO2 传感器与微热板集成，实现低功耗运行
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[W. P. Carine Soo, T. Iwata, T. Hizawa, M. Ishida, and K. Sawada]
通讯作者：
and K. Sawada
La2O3/SnO2積層素子のCO2センシング特性 に対する素子形状の影響
器件形状对La2O3/SnO2堆叠器件CO2传感特性的影响
器件形状对La2O3/SnO2堆叠器件CO2传感特性的影响
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[松田恭輔, 岩田達哉, 高橋一浩, 澤田和明]
通讯作者：
澤田和明
共 7 条
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