Development of high speed deposition method of DLC films by ICP / PSD plasma CVD hybrid system

ICP/PSD等离子体CVD混合系统高速沉积DLC膜方法的开发

• 批准号: 15K21580
• 负责人: kamada takaharu
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Hachinohe National College of Technology (2016-2017)Ichinoseki National College of Technology (2015)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2015-04-01 至 2018-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15K21580/
• 关键词: 擬火花放電; アモルファスカーボン膜; ダイヤモンドライクカーボン膜; ラマンスペクトル; XPS; プラズマ計測; ＸＰＳ

项目成果

擬火花放電プラズマCVD法によるDLC膜の特性評価

赝火花放电等离子体CVD法评价DLC膜特性

• 发表时间: 2016
• 作者: 鎌田貴晴;渡部政行;向川 政治
• 通讯作者: 向川 政治

Influence of substrate bias voltage and properties of hydrogenated diamond-like corbon films deposited by Pseudo-spark discharge PECVD

基体偏压对赝火花放电PECVD沉积氢化类金刚石薄膜性能的影响

• 发表时间: 2017
• 作者: T. Kamada;M. Watanabe;Y. Nakamura;and S. Mukaigawa
• 通讯作者: and S. Mukaigawa

誘導結合プラズマにおけるプラズマインピーダンスの気圧依存性

电感耦合等离子体中等离子体阻抗的压力依赖性

• 发表时间: 2017
• 作者: 山田健太;向川政治;高木浩一;高橋克幸;鎌田貴晴
• 通讯作者: 鎌田貴晴