Absolute evaluation of a probe-tip shape for the reduction of uncertainty of linewidth calibration using an AFM
Absolute evaluation of a probe-tip shape for the reduction of uncertainty of linewidth calibration using an AFM
使用 AFM 对探针尖端形状进行绝对评估，以减少线宽校准的不确定性
批准号：
16K18119
负责人：
Kizu Ryosuke
金额：
$2.66万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
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Linewidth calibration using a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism
使用具有尖端倾斜机构的计量原子力显微镜进行线宽校准
使用具有尖端倾斜机构的计量原子力显微镜进行线宽校准
DOI：
10.1088/1361-6501/aaf02a
发表时间：
2018
期刊：
Measurement Science and Technology
影响因子：
2.4
作者：
[Kizu Ryosuke, Misumi Ichiko, Hirai Akiko, Kinoshita Kazuto, Gonda Satoshi]
通讯作者：
Gonda Satoshi
傾斜探針型測長AFMによる線幅計測における実効探針幅の補正
使用倾斜探针长度测量 AFM 校正线宽测量中的有效探针宽度
使用倾斜探针长度测量 AFM 校正线宽测量中的有效探针宽度
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[木津良祐, 三隅伊知子, 平井亜紀子, 木下和人, 権太聡]
通讯作者：
権太聡
走査型プローブ顕微鏡像のドリフト補正
扫描探针显微镜图像的漂移校正
扫描探针显微镜图像的漂移校正
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[木津 良祐, 三隅 伊知子, 平井 亜紀子, 権太 聡]
通讯作者：
権太 聡
DOI：
10.1088/1361-6501/aabe1a
发表时间：
2018-07-01
期刊：
MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
影响因子：
2.4
作者：
[Kizu, Ryosuke, Misumi, Ichiko, Gonda, Satoshi]
通讯作者：
Gonda, Satoshi
走査型プローブ顕微鏡のドリフト補正方法及びドリフト補正機能を備えた走査型プローブ顕微鏡
扫描探针显微镜的漂移校正方法及具有漂移校正功能的扫描探针显微镜
扫描探针显微镜的漂移校正方法及具有漂移校正功能的扫描探针显微镜
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
Ultraprecise dimensional measurement of semiconductor nanostructures
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批准号：19K14865
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项目类别：Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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资助金额：$2.66万
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财政年份：2019
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负责人：Kizu Ryosuke
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依托单位：