Micro/nano-machining using metal assisted chemical etching for micro/nano systems
Micro/nano-machining using metal assisted chemical etching for micro/nano systems
使用金属辅助化学蚀刻进行微/纳米系统的微/纳米加工
批准号：
17K14095
负责人：
Nguyen Van Toan
金额：
$2.75万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2019-03-31
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DOI：
10.1007/s00542-016-2826-2
发表时间：
2017-04-01
期刊：
MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
影响因子：
2.1
作者：
[Nguyen Van Toan, Sangu, Suguru, Ono, Takahito]
通讯作者：
Ono, Takahito
DOI：
10.1002/adem.201700203
发表时间：
2017-06
期刊：
Advanced Engineering Materials
影响因子：
3.6
作者：
[Nguyen Van Toan;M. Toda;T. Hokama;T. Ono]
通讯作者：
Nguyen Van Toan;M. Toda;T. Hokama;T. Ono
DOI：
10.5860/choice.42-2552
发表时间：
2014
期刊：
Lab on a chip
影响因子：
6.1
作者：
[S. Lyshevski]
通讯作者：
S. Lyshevski
DOI：
10.5772/intechopen.69580
发表时间：
2018-06
期刊：
影响因子：
--
作者：
[V. Sglavo]
通讯作者：
V. Sglavo
DOI：
10.1088/1361-6439/aa8f16
发表时间：
2017-12-01
期刊：
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
影响因子：
2.3
作者：
[Nguyen Huu Trung, Nguyen Van Toan, Ono, Takahito]
通讯作者：
Ono, Takahito
共 16 条
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