Multiplication properties of multi-ferroic nanomaterial and micro magnetic sensor

多铁性纳米材料及微型磁传感器的倍增特性

• 批准号: 21246019
• 负责人: FURUYA Yasubumi
• 金额: $ 29.2万
• 依托单位: Hirosaki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21246019/
• 关键词: マルチフェッロイク材料; 磁気・電気効果; 磁気センサ; マイクロ加工プロセス; ME効果; マルチフェロイイク材料; MEMS; カンチレバー; ブロードバンドAC磁場; マルチフェロイックス材料; 磁歪合金; PZT; マイクロ磁気センサ; 磁気センサー; マルチフェロイクス材料; 複合機能化; ナノテク材料; 電気・磁気効果

Multiplication effect of ferromagnetic/ferroelectric composite for application of multi-ferroic magnetic sensor with high sensitivity was investigated and a micro device was fabricated. Magnetic sensor designed by magnetostrictive FeSiB(50 μm) film /PZT(C-3)/ FeSiB(50μm) three layers outputted high voltage at a resonance frequency, 74 kHz. While, the sensor exhibits same sensitivity in AC frequency range of 0.001Hz～100Hz and can analyzes low magnetic field of 0.001 Oe in a range of 0.1Hz～100Hz. Micro cantilever sensor of FePd film/Si(10 μm) by MEMS fabrication process exhibited sensibility of 0.15-0.6μm/Oe in low magnetic field under 30 Oe.

研究了用于高灵敏度多铁磁传感器的铁磁/铁电复合材料的倍增效应，制作了一种微器件。由磁致伸缩FeSiB(50μm)薄膜/PZT(C-3)/FeSiB(50μm)三层膜设计的磁传感器在74 kHz的谐振频率下输出高压。该传感器在0.001.0 1 Hz~10 0 Hz交流频率范围内具有相同的灵敏度，可以在0.1 Hz~10 0 Hz范围内分析0.1 0 0 0e的低磁场。采用MEMS工艺制作的FEPD膜/Si(10μm)微悬臂梁传感器在30 Oe的低磁场下的灵敏度为0.15~0.6μm/Oe。

项目成果

Effect of Ion Fluence on Crystallization of TiNi Film made by Sputter Deposition with Simultaneous Ion Irradiation

离子注量对同步离子辐照溅射沉积TiNi薄膜结晶的影响

• 发表时间: 2010
• 作者: T. Hashizume;Y. Hori and C. Mizue;N.Ikenaga
• 通讯作者: N.Ikenaga

Magnetoelectric coupling in Multi-ferro Fe-Pd/ PZT/Fe-Pd Laminate Composites

多铁 Fe-Pd/PZT/Fe-Pd 层压复合材料中的磁电耦合

• 发表时间: 2010
• 作者: Y. Takei;N.Y. Yamasaki;W. Hirakoso;S. Kimura;K. Mitsuda;Hideo Miura;Tetsuya. Sakurai;Teiko OKAZAKI
• 通讯作者: Teiko OKAZAKI

Magnetic Properties of Thin-fi lm Fe-Pd Alloy and Magnetoelectric Coupling in Fe-Pd/PZT/Fe-Pd Laminate Composites

薄膜Fe-Pd合金的磁性能及Fe-Pd/PZT/Fe-Pd层状复合材料的磁电耦合

• 发表时间: 2011
• 作者: Teiko OKazaki;Yusuke Sado;Yasubumi Furuya;Yoichi Kishi and Zenjiro Yajima
• 通讯作者: Yoichi Kishi and Zenjiro Yajima

磁歪薄膜を使用したマルチラェロイクス磁気センサの周波数特性

磁致伸缩薄膜多层loix磁传感器的频率特性

• 发表时间: 2010
• 期刊: 2010年秋季日本金属学会講演概要集
• 作者: Y. Ezoe;Y. Miyoshi;H. Yoshitake;K. Mitsuda;N. Terada;S. Oishi;T. Ohashi;S. Kita;Kenichi Morita;佐渡佑介
• 通讯作者: 佐渡佑介

磁気センサのためのFePd膜を積層したMEMSカンチデバーの形成

用于磁性传感器的 FePd 薄膜堆叠的 MEMS 悬臂的形成

• 发表时间: 2012
• 作者: V.Darakchieva;K.Lorenz;N.P Barradas;E.Alves;L.Artus;D.Rogala;H.-W.Becker.C.L.Hsiao;L.C.Chen;L.W.To;T.Yamaguchi;Y.Nanishi;青野雅之;西方孝志
• 通讯作者: 西方孝志