Integration of Si-based MEMS and GaN-based light emitting devices on Si(111) by low-temperature growth technique
通过低温生长技术在 Si(111) 上集成硅基 MEMS 和氮化镓基发光器件
基本信息
- 批准号:26870108
- 负责人:
- 金额:$ 2.16万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份:2014
- 资助国家:日本
- 起止时间:2014-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(4)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
伝導性バッファー層を用いたSi基板上へのGaN薄膜成長
使用导电缓冲层在 Si 衬底上生长 GaN 薄膜
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:篠塚 正之;綿引 康介;太田 実雄;金 惠蓮;上野 耕平;小林 篤;藤岡 洋
- 通讯作者:藤岡 洋
GaN薄膜成長におけるHfNバッファ層の検討
GaN薄膜生长中HfN缓冲层的考虑
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:篠塚 正之;太田 実雄;綿引 康介;金 惠蓮;上野 耕平;小林 篤;藤岡 洋
- 通讯作者:藤岡 洋
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Jitsuo Ohta其他文献
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- 影响因子:0
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小林篤,伊藤剛輝,上野耕平,太田実雄,藤岡洋
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- DOI:
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- 影响因子:0
- 作者:
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- DOI:
- 发表时间:
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- 作者:
Yasushi Toyoshima;Koji Horiba;Mas aharu Oshima;Jitsuo Ohta;Hiroshi Fujioka;Hisayuki Miki;Shigenori U eda;Yoshiyuki Yamashita;Hideki Yo shikawa;Keisuke Kobayashi;Yasushi Toyoshima;堀場弘司;堀場弘司 - 通讯作者:
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- DOI:
- 发表时间:
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Atsushi Kobayashi;Khe Shin Lye;Kohei Ueno;Jitsuo Ohta;and Hiroshi Fujioka;小林篤,上野耕平,太田実雄,藤岡洋 - 通讯作者:
小林篤,上野耕平,太田実雄,藤岡洋
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在热氮化蓝宝石衬底上脉冲溅射沉积高质量 AlN
- DOI:
- 发表时间:
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- 影响因子:0
- 作者:
Kohei Ueno;Eiji Kishikawa;Shigeru Inoue;Jitsuo Ohta;Hiroshi Fujioka;Masaharu Oshima;and Hiroyuki Fukuyama - 通讯作者:
and Hiroyuki Fukuyama
Jitsuo Ohta的其他文献
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