Herstellung ultradünner Zirkonoxid-Elektrolytschichten durch Gasphasenprozesse

锆氧化物-Schichten具有1 μm的直径，并通过气相纳米粒子的分离获得高的阳极氧化物，该气相纳米粒子在惰性NiO/ZrO 2-阳极基底上韦尔登。如果是这样的话，这个模型就只能通过均匀性和机械性来实现。一个大的小男孩在Schichtdicke ist，d.h.在纳米粒子粉末中进行。烧结温度对阳极功能的电化学活性和阳极-电解质韦尔登的有效性有积极的影响。Schichtherstellung soll zum einen über die Niederdruck-Flammensynthese and die chemische Gasphasenkontensation erfolgen. Donggezielte Einstellung der Prozeßparameters sind Abscheidebedingungen möglich，die sowohl eine Partikelanlagerung als auch eine atomare Abscheidung（CVD）auf dem Substrat ermöglichen and eine in situ `Versinterung'of Partikel auf dem Substrat herbeiführen.在对纳米晶体电介质韦尔登的研究中，发现了这些基本特性，即微结构参数、微分、化学计量学和用于确定本征值的热电介质的方法，如气体、离子强度和温度稳定性，这些都是韦尔登的最佳特性。所有材料都是Y稳定的ZrO 2，它具有与Al 2 O 3相同的Y稳定性和Zugaben。

Zirkonoxid-Schichten mit Dicken von 1 µm und darunter sollen mit hohen Auftragsraten durch Abscheidung nanophasiger Partikel aus der Gasphase auf vorgesinterte NiO/ZrO2-Anodensubstrate realisiert werden. Diese Schichtdicken lassen sich mit ausreichender Homogenität und guten mechanischen Kennwerten nur herstellen, wenn die Korngröße ca. eine Größenordnung kleiner als die Schichtdicke ist, d.h. bei Verwendung nanophasiger Pulver zur Beschichtung. Abgesenkte Sintertemperaturen mit positivem Einfluß auf die elektrochemische Aktivität der Anodenfunktionsschicht und die Ebenheit der Anoden-Elektrolyt-Einheiten werden erwartet. Die Schichtherstellung soll zum einen über die Niederdruck-Flammensynthese und die chemische Gasphasenkondensation erfolgen. Durch gezielte Einstellung der Prozeßparameter sind Abscheidebedingungen möglich, die sowohl eine Partikelanlagerung als auch eine atomare Abscheidung (CVD) auf dem Substrat ermöglichen und eine in situ `Versinterung' der Partikel auf dem Substrat herbeiführen. Im Anschluß an die Herstellung der nanokristallinen Elektrolytschichten werden diese umfassend charakterisiert, wobei die mikrostrukturellen Parameter Korngröße, Dichte, Stöchiometrie und die für die Anwendung als Feststoff-Elektrolyt wichtigen Eigenschaften, wie Gasdichtigkeit, Ionenleitfähigkeit und Temperaturstabilität als Funktion der Korngröße untersucht werden, um die optimale Korngröße zu bestimmen. Als Material wird Y-stabilisiertes ZrO2 mit verschiedenen Y-Gehalten und Zugaben von Al2O3 als Korngrößenstabilisator verwendet.