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Herstellung ultradünner Zirkonoxid-Elektrolytschichten durch Gasphasenprozesse

采用气相工艺生产超薄氧化锆电解质层

基本信息

批准号：
5115556
负责人：
Professor Dr.-Ing. Horst Hahn
金额：
--
依托单位：
Institut für Nanotechnologie (INT)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
1998
资助国家：
德国
起止时间：
1997-12-31 至 2001-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5115556?language=en
关键词：
Herstellung ultrad nner Zirkonoxid Elektrolytschichten

项目摘要

Zirkonoxid-Schichten mit Dicken von 1 µm und darunter sollen mit hohen Auftragsraten durch Abscheidung nanophasiger Partikel aus der Gasphase auf vorgesinterte NiO/ZrO2-Anodensubstrate realisiert werden. Diese Schichtdicken lassen sich mit ausreichender Homogenität und guten mechanischen Kennwerten nur herstellen, wenn die Korngröße ca. eine Größenordnung kleiner als die Schichtdicke ist, d.h. bei Verwendung nanophasiger Pulver zur Beschichtung. Abgesenkte Sintertemperaturen mit positivem Einfluß auf die elektrochemische Aktivität der Anodenfunktionsschicht und die Ebenheit der Anoden-Elektrolyt-Einheiten werden erwartet. Die Schichtherstellung soll zum einen über die Niederdruck-Flammensynthese und die chemische Gasphasenkondensation erfolgen. Durch gezielte Einstellung der Prozeßparameter sind Abscheidebedingungen möglich, die sowohl eine Partikelanlagerung als auch eine atomare Abscheidung (CVD) auf dem Substrat ermöglichen und eine in situ `Versinterung' der Partikel auf dem Substrat herbeiführen. Im Anschluß an die Herstellung der nanokristallinen Elektrolytschichten werden diese umfassend charakterisiert, wobei die mikrostrukturellen Parameter Korngröße, Dichte, Stöchiometrie und die für die Anwendung als Feststoff-Elektrolyt wichtigen Eigenschaften, wie Gasdichtigkeit, Ionenleitfähigkeit und Temperaturstabilität als Funktion der Korngröße untersucht werden, um die optimale Korngröße zu bestimmen. Als Material wird Y-stabilisiertes ZrO2 mit verschiedenen Y-Gehalten und Zugaben von Al2O3 als Korngrößenstabilisator verwendet.

氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆基板-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆基板-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆-氧化锆基板[2] [1] [1] [1] [2] [1] [1] [2] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]Abgesenkte Sintertemperaturen de positive Einfluß auf die elekchemische Aktivität der anodenfuncktionsschicht and die Ebenheit der anode - elektrolyt - enheiten werden erwartet。化学合成与气相缩合反应[j]。Durch gezielte Einstellung der Prozeßparameter sind Abscheidebedingungen möglich, die sowohl eine Partikelanlagerung als auch eine atomare Abscheidung (CVD) aufdem substrate ermöglichen and die in situ ' Versinterung' der Partikel aufdem substrate herbeif<e:1> hren。in Anschluß an die Herstellung der nanokristallinen Elektrolytschichten werden disese umfassend characterisiert, wobei die microstrukturelen Parameter Korngröße, Dichte, Stöchiometrie and die f<e:1>; or die Anwendung als Feststoff-Elektrolyt witchigen Eigenschaften, wie Gasdichtigkeit, Ionenleitfähigkeit and Temperaturstabilität; or funkfunction der Korngröße untersucht werden, um die optimale Korngröße zu bestimmen。al材料风Y-stabilisiertes ZrO2 mit verschiedenen Y-Gehalten and Zugaben von Al2O3 al Korngrößenstabilisator verwendet。