Metall-Kapillardruck-Feingießen mikromechanischer Bauteile

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Im Rahmen des Vorhabens ist die Entwicklung eines Metall-Kapillardruckgießverfahrens mit der Zielrichtung vor allem ferromagnetischer Legierungen vorgesehen, mit dem schmelzmetallurgisch Mikrobauteile in großer Formenvielfalt hergestellt werden können. Die Beherrschung des Gießprozesses erfordert dabei komplex aufgebaute keramische Mikro-Gießwerkzeuge. Da durch PräzisionsTrennschleifen hochgenaue Schnitte in Keramiken mit guter Qualität von Kanten- und Seitenflächen bei hoher Maßgenauigkeit erzeugt werden können, soll dieses Verfahren zur Herstellung der Komponenten von Mikro-Gießformsystemen weiterentwickelt werden. Für den Gießprozeß ist kennzeichnend, daß zum Erzeugen des kapillaren Fülldrucks die Schmelze die Form erst Benetzen und anschließend Entnetzen muß, um schließlich das Gußteil entnehmen zu können. Das Benetzen der keramischen Form wird durch metallische Arc-PVD-Überzüge realisiert, die durch ein gezielt einstellbares Auflösungsverhalten der Beschichtung in der Schmelze eine hohe Konturentreue der Mikrogußbauteile erzielen.