Metall-Kapillardruck-Feingießen mikromechanischer Bauteile

微机械部件的金属毛细管压力熔模铸造

基本信息

项目摘要

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Integrated Microactuator Systems Emphasizing Ni-Mn-Ga Films with a Tailored Microstructure INTACT - Design and System Integration of Microactuators with Discrete and Thin-Film MSM Elements
集成微执行器系统强调具有定制微结构的 Ni-Mn-Ga 薄膜 INTACT - 具有分立薄膜 MSM 元件的微执行器的设计和系统集成
  • 批准号:
    28340651
  • 财政年份:
    2006
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Priority Programmes
Magnetoelastische Sensoren für die Überwachung von mechanischen Verformungen an der Grenze Faser-Matrix in Verbundwerkstoffen
用于监测复合材料纤维基体界面机械变形的磁弹性传感器
  • 批准号:
    26705250
  • 财政年份:
    2006
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
Neue Werkzeugelektroden für die Mikrofunkenerosion
用于微火花腐蚀的新型工具电极
  • 批准号:
    26314420
  • 财政年份:
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  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
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Erforschung und Entwicklung eines hochauflösenden induktiven Messsystems
高分辨率感应测量系统的研发
  • 批准号:
    5450502
  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
Erforschung eines Chemisch-Mechanischen Polierverfahrens für die Planarisierung von Werkstoffverbunden bei der Fertigung von Mikrosystemen
研究微系统生产中复合材料平坦化的化学机械抛光工艺
  • 批准号:
    5422119
  • 财政年份:
    2004
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
Micromachining of brittle materials applying ductile mode dicing and profile grinding
应用延性模式切割和轮廓磨削的脆性材料微加工
  • 批准号:
    5289438
  • 财政年份:
    2003
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
Mikrobearbeitung sprödharter Werkstoffe mittels duktilem Trenn- und Profilschleifen
使用延性切削和成型磨削对脆硬材料进行微加工
  • 批准号:
    5289444
  • 财政年份:
    2000
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Priority Programmes
Untersuchung und Optimierung der magnetoelastischen und der Hochfrequenzeigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten am Beispiel induktiver Mikrobauelemente
以感应微元件为例研究和优化软磁薄膜的磁弹性和高频特性
  • 批准号:
    5116428
  • 财政年份:
    1998
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
Fertigung von keramischen Mikroschwingungssensoren durch Profilschleifen und Lasermaterialabtrag
通过仿形磨削和激光材料去除生产陶瓷微振动传感器
  • 批准号:
    5276528
  • 财政年份:
    1996
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Priority Programmes

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  • 批准号:
    5155496
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    1998
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Priority Programmes
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