Untersuchung des Einsatzes der PVD-Schichttransplantation zur Generierung neuartiger Oberflächen und Eigenschaften bei der Mikrobauteilfertigung

1 .微型机械制造技术的研制与应用：微型机械制造技术的研制与应用：微型机械制造技术的研制与应用。在安sanz， welcher sich ß ßen konzentriert, best darin, die benötigte Oberflächenbehandlung (z.B. eine Hartstoffbeschichtung), nicht als abschließ ßenden Prozessschritt autefdie fergerform des Bauteils ß beschichten and abschließend diese Beschichtung audas Bauteil zu transplantieren。在杂交种Prozess中，bedem die Beschichtung bem Gießen stoffschlessig audas new entstandene Bauteil移植物。研究进展与进展ermöglicht，研究进展与进展与进展Oberflächen，研究进展与进展与进展。在材料与结构方面，材料与结构方面，材料与结构方面，材料与结构方面，材料与结构方面。Die bei diesen geringen Bauteilgrößen zu erwartenden problematischen Beschichtungsbedingungen (Handling, Kantenabrundungen usw.) entfallen, womit dieses hybridverfahen zusätzlich eine Vereinfachung darstellt。Die posiven Eigenschaften der pdd - schichten bleiben erhalten and versorgen Die Mikrobauteile mit neuen Oberflächeneigenschaften, Die beispielsweise einer Steigerung der Verschleißbeständigkeit sowie einer Erhöhung der Oberflächenhärte。verversuche belegen, dass die transplantierten PVD-Beschichtungen eine hohe Oberflächengüte aufweisen, welche selbst den hohen anspren chen der Optik gengt。Strukturgrößen im sub-μm-Bereich werden bei dem transplantation prozess großflächig（约6 cm²）auf die PVD-Beschichtung <e:1> bertragen。[2] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [3]在德国，我们的研究项目是systematisch unsucht werden，我们的研究项目是systematisch unsucht werden，我们的研究项目是microstrukturierte bautele，我们的研究项目是herstellungspprozess，我们的研究项目是Oberflächentechnik bekannten Hartstoffschichten auszustatten。alhartstoffschichten sind和tialschichten basierten TiN- and tialschichten favorisiert， aldisese sich alassische Hartstoffschichten etabliert haben。

Die fortschreitende Miniaturisierung von Mikrobauteilen stellt die Beschichtungstechnik vor neue Herausforderungen, welche neue Lösungsansätze erfordern. Ein Ansatz, welcher sich auf das Mikrogießen konzentriert, besteht darin, die benötigte Oberflächenbehandlung (z.B. eine Hartstoffbeschichtung) nicht als abschließenden Prozessschritt auf die fertig urgeformten Bauteile zu applizieren, sondern im Vorfeld die entsprechende Gussform des Bauteils zu beschichten und abschließend diese Beschichtung auf das Bauteil zu transplantieren. Somit entsteht ein hybrider Prozess, bei dem die Beschichtung beim Gießen stoffschlüssig auf das neu entstandene Bauteil transplantiert wird. Dieses Verfahren ermöglicht es, Bauteile mit Abmessungen von unter einem Millimeter endkonturnah mit neuartigen Oberflächen und Eigenschaften zu versehen. Bei dem Transplantationsprozess wird die Beschichtung zusammen mit ihren Materialeigenschaften und den Struktureigenschaften, welche von der Masterform übernommen werden, übertragen. Die bei diesen geringen Bauteilgrößen zu erwartenden problematischen Beschichtungsbedingungen (Handling, Kantenabrundungen usw.) entfallen, womit dieses Hybridverfahren zusätzlich eine Vereinfachung darstellt. Die positiven Eigenschaften der PVD-Schichten bleiben erhalten und versorgen die Mikrobauteile mit neuen Oberflächeneigenschaften, wie beispielsweise einer Steigerung der Verschleißbeständigkeit sowie einer Erhöhung der Oberflächenhärte. Vorversuche belegen, dass die transplantierten PVD-Beschichtungen eine hohe Oberflächengüte aufweisen, welche selbst den hohen Ansprüchen der Optik genügt. Strukturgrößen im sub-μm-Bereich werden bei dem Transplantationsprozess großflächig (ca. 6 cm²) auf die PVD-Beschichtung übertragen. Die erfolgreiche Transplantation von PVD-Mehrlagenschichten auf Mikrobauteile verdeutlicht das Potential dieses Verfahrens. Die aus den Vorversuchen gewonnenen Ergebnisse sollen in dem beantragten Projekt systematisch untersucht werden, mit dem Ziel, mikrostrukturierte Bauteile im hybriden Herstellungsprozess mit aus der Oberflächentechnik bekannten Hartstoffschichten auszustatten. Als Hartstoffschichten sind CrN und die titanbasierten TiN- und TiAlN-Schichten favorisiert, da diese sich als klassische Hartstoffschichten etabliert haben.