Funktionale dünne Schichten intermetallischer Verbindungen durch reaktives Ionenplattieren

通过反应离子镀形成金属间化合物的功能性薄层

• 批准号: 5455030
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Kai Möhwald
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Werkstoffkunde (IW)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2008-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5455030?language=en
• 关键词: Funktionale; nne; Schichten; intermetallischer; Verbindungen

Mit dem MSIP-PVD-Verfahren werden heute in der Regel Verschleißschutzschichten auf Metall-Carbid- bzw. Nitridbasis abgeschieden, die sich hauptsächlich durch ihre hohe Härte auszeichnen. Mehr als 75% der Elemente sind Metalle und die Kombinationsmöglichkeiten der metallischen Komponenten zur Bildung intermetallischer Verbindungen mit häufig stark unterschiedlichen Strukturen und Eigenschaften ist dementsprechend vielfältig. Diese scheinbar unüberschaubare Komplexität mag Ursache dafür sein, dass Schichten intermetallischer Verbindungen in der Forschung bislang eher wenig Beachtung fanden, und ihr großes technologisches Potential bislang weitgehend ungenutzt blieb. Mit den intermetallischen Phasen existiert eine Verbindungsklasse mit herausragenden mechanischen und chemischen, sowie z.T. ungewöhnlichen physikalischen Eigenschaften. Ziel des Forschungsvorhabens ist es, die hervorragenden Eigenschaften intermetallischer Verbindungen durch Adaption bekannter PVD-Verfahren, wie MSIP- und Arc-PVD, für die Dünnschichttechnologie nutzbar zu machen.

Mit dem MSIP-PVD-Verfahren韦尔登heute in der Regel Verschleißschutzschichten auf Metall-Carbid- bzw.氮的基础上，这种hauptsächlich通过他们的高Härte auszeichnen。梅尔有75%的元素是金属，而金属间化合物的组合则具有很强的不规则结构和特征。这种复杂的结构使我们感到不安，因为在研究中，金属间化合物的相互作用是可以理解的，而且它们的技术潜力是巨大的。金属间化合物相是一种具有机械和化学性质的化合物。ungewöhnlichen physikalischen Eigenschaften. Ziel des Forschungsvorhabens是这样的，通过PVD-Verfahren的改编，如MSIP-和Arc-PVD，为Dünnschichttechnologie nutzbar zu machen提供了特征金属间焊接。