Spatially two-dimensional microphysical description of plasma in the anode region of a glow discharge

辉光放电阳极区等离子体的空间二维微观物理描述

• 批准号: 5155618
• 负责人: Dr. Dirk Uhrlandt
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Elektrische Energietechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5155618?language=en
• 关键词: Spatially; two; dimensional; microphysical; description

Die Eigenschaften von anisothermen Niederdruckplasmen, wie sie zunehmend in der Plasmaprozeßtechnik eingesetzt werden, sind maßgeblich durch die nichtlokale Kinetik der Elektronenkomponente bestimmt. Die adäquate Beschreibung der räumlichen Struktur solcher Plasmen erfordert eine kinetische Behandlung der Elektronen durch Lösung einer räumlich inhomogenen kinetischen Gleichung unter Berücksichtigung aller wirkenden Feldkomponenten. Bisher ist die numerische Lösung der entsprechenden inhomogenen elektronenkinetischen Gleichung nur für in einer Ortsrichtung inhomogene Situation möglich oder kann nur unter Annahme weitreichender Näherungen erfolgen. Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung praktikabler Verfahren zur Beschreibung der räumlichen Struktur der Elektronenkinetik in mehr als einer Raumdimension. Ein in jüngster Zeit experimentell näher untersuchtes Beispiel eines räumlich stark strukturierten Niederdruckplasmas stellt das Anodengebiet der Gleichstrom-Glimmentladung im zylindrischen Rohr dar. An diesem Beispiel soll die inhomogene Elektronenkinetik erstmals durch numerische Lösung einer zweidimensional räumlich inhomogenen kinetischen Gleichung in Zwei-Term-Näherung detailliert untersucht werden. Nach erfolgreicher Entwicklung eines geeigneten Verfahrens zur Lösung der kinetischen Gleichung wird eine Gesamtbeschreibung des Plasmas angestrebt. Weiterhin soll das Verfahren auf die Analyse anderer Plasmasituationen mit ähnlicher Geometrie übertragen werden.

等温印刷等离子体的特性，就像等离子体技术的改进一样，主要是通过电子组件的非局部动力学来实现的。Die adäquate Beschreibung der räumlichen Struktur solcher Plasmen erfordert eine kinetische Behandlung der Elektronen durch Lösung einer räumlich inhomogenen kinetischen Gleichung unter Berücksichtigung阿勒Feldkomponenten. Bisher ist die numerische Lösung der entsprechenden inhomogenen elektronenkinetischen Gleichung努尔für in einer Ortsrichtung inhomogenene Situation möglich or kann努尔unter Annahme weitreichender Näherungen erfolgen. Ziel des Vorhabens is die Entwicklung praktikabler Verfahren zur Beschreibung der räumlichen Struktur der Elektronenkinetik in梅尔als einer Raumdimension.在一个年轻的时代，实验告诉我们，这些Beispiel是一个非常明显的结构，Niederdruckplasmas stelt das Anodengebiet der Gleichstrom-Glimmentladung im zylindrischen Rohr。这一模型通过数值计算得到了一个二维非均匀运动学模型，该模型在二维项下详细描述了该模型的韦尔登。Nach erfolgreicher Entwicklung eines geeigneten Verfahrens zur Lösung der kinetischen Gleichung wird eine Gesamtbeschreibung des Plasmas angestrebt.在此基础上，通过韦尔登对等离子体的分析进行了验证。