Kühlung der Elektronenkomponente im Afterglowplasma bei niedrigem Druck

低压余辉等离子体中电子元件的冷却

基本信息

项目摘要

Anisotherme Niederdruckplasmen werden in vielen praktischen Anwendungen gepulst betrieben. Ihre Eigenschaften werden wesentlich auch durch Prozesse im Afterglow nach Abschaltung der Leistungszufuhr bestimmt. Besonderen Einfluss gewinnen hier nichtlokale Eigenschaften der Nichtgleichgewichtskinetik der Elektronenkomponente, Interelektronenwechselwirkung, ambipolare Diffusion der Ladungsträger zu den Gefäßwänden und Ionisationsprozesse langlebiger Neutralteilchen. Jedoch sind das Zusammenwirken dieser Prozesse und ihre Bedeutung in Abhängigkeit des Gasdruckes und der Gaszusammensetzung zum großen Teil ungeklärt. Bisherige Methoden zur Beschreibung von Afterglowplasmen weisen erhebliche Defizite auf. Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung einer selbstkonsistenten Beschreibung des zeitlichen Verhaltens der Plasmaeigenschaften im Afterglow von Niederdruck-Edelgasplasmen, basierend auf der Lösung der zeitabhängigen kinetischen Gleichung der Elektronen. Hiermit soll das Afterglowplasma einer planaren induktiv gekoppelten Radiofrequenzentladung in Argon in einem Druckbereich von einigen Pa bis 100 Pa in enger Ankopplung an experimentelle Untersuchungen analysiert werden. Von besonderem Interesse sind neue Erkenntnisse zum Prozess des Energieverlustes der Elektronen durch ambipolare Diffusion, d.h. der diffusiven Kühlung.
Anwendungen Gepulst berieben中有异温尼德氏原生质体。我们对此进行了深入的研究,并提出了相应的建议。这是一种很好的生活方式,也是一种中立性的电离化。在ABHänGigkeit des Gasdruckes and der Gaszusammensetzung Zum groüen teil ungeklärt的绝地教士和Zusammenwirken Das Zusammenwirken Deser Prozesse and Ihre Bedeutung in ABHänGigkeit des Gasdruckes and der Gaszusammensetzung zum groüen teil ungeklärt。在卫理公会的帮助下,我们得到了更多的帮助。ZIELL DES Vorhabens is die Entwickump einer selbststkonsistenten Beschreibung des zeitlicchen Verhalten der Plamaeigenschaften im Afterglow von Niederdruck-Edelgas plumins,basierend auf der zeitabhänGigen kintischen en Gleichung der Elektronen.在此基础上进行了一次实验分析,结果表明,在本实验条件下,Ar中的辐射频率为100Pa.Von Besonderem Interesse Neue Erkenntnisse zum Prozess des Energieverlustes der Elektronen duch bipolare Diffsion,D.H.弥漫在库隆。

项目成果

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