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Entwicklung neuer Lithographietechniken für die Nanometerskala basierend auf der Selbstorganisation dünner anorganisch-polymerer Hybridfilme

基于无机聚合物杂化薄膜自组装的纳米级新型光刻技术的开发

基本信息

批准号：
5164684
负责人：
Professor Dr. Martin Möller
金额：
--
依托单位：
Max-Planck-Institut für medizinische Forschung
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
1999
资助国家：
德国
起止时间：
1998-12-31 至 2001-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5164684?language=en
关键词：
Entwicklung neuer Lithographietechniken die Nanometerskala

项目摘要

Mizellare Blockcopolymer-Filme, welche mit unterschiedlichen Übergangsmetallverbindungen beladen sind, werden für die Ausbildung nanoskopischer Oberflächenstrukturen von anorganischen Festkörpern eingesetzt. Der chemisch orientierte Aufgabenblock betrifft die Entwicklung geeigneter linearer und sternförmiger binärer Blockcopolymere. Anforderungen an diese Verbindungen sind, daß sie in organischer oder auch in wäßriger Lösung kugelförmige und zylindrische Mizellen bilden. Weiterhin sollen neue Konzepte zur Ausbildung solcher Zylindermizellen auf der Basis von Miktoarm und Vergina-Sterncopolymere entwickelt werden. Der zweite Bereich betrifft Untersuchungen zur Ausbildung mizellelarer Filme und ihrer Beeinflussung durch Substrat-Rauheit oder weiterer organischer Zwischenschichten sowie die Strukturierung bzw. Dekorierung der Substrate. Dabei werden neben Punktmuster auch makroskopisch ausgerichtete Linienmuster angestrebt, die durch Ausrichtung von Zylindermizellen in äußeren Feldern und/oder durch lithographische Vorstrukturierung der Substrate erfolgen soll. Schließlich geht es in diesem Bereich noch um Untersuchungen zur unerwartet hohen thermischen Stabilität von Au-Nanoinseln, die mit Hilfe der thermischen Desorptionsspektroskopie in situ unter UHV-Bedingungen durchgeführt werden mit der Möglichkeit, dabei die jeweilige InselAnordnungen und -Größe mittels STM zu kontrollieren.

Mizellare Blockcopolymer-Filme，welche mit unterschedlichen Übergangsmetallverbindungen belongsind，韦尔登für die Ausbildung nanoskopischer Oberflächenstrukturen von anorganischen Festkörpern eingesetzt. Der chemisch orientierte Aufgabenblock betrifft die Entwicklung geeigneter linearer und sternförmiger binärer Blockpolymere.这是一个非常复杂的问题，组织者或其他人都有可能会对这一问题感到困惑。此外，还需要在混合臂和Vergina-Sternpolymere韦尔登的基础上进行新的结构设计。这两种方法都有助于通过基质的吸收或其他组织的组织结构来提高薄膜的质量和影响力。Dekorierung der Substrate.大北韦尔登本Punktmuster也使kroskopisch ausgerichtete Linienmuster angestrebt，die durch Ausrichtung von Zylindermizellen in äußeren Feldern und/oder durch lithographische Vorstrukturierung der Substrate erfolgen soll. Schließlich geht es in diesem Bereich noch um Untersuchungen zur unerwartet hohen thermischen Stabilität von Au-Nanoseln，die mit Hilfe der thermischen Desorptionsspektroskopie in situ unter UHV-Bedingungen durchgeführt韦尔登dabei die jeweilige InselAnordnungen und -Größe mittels STM zu controllieren.