Sub-Wellenlängen-Auflösung bei einem Interferenzmikroskop

Ziel des Vorhabens ist es, mit einem Interferenzmikroskop im Fernfeld eine Auflösung zu erreichen， die deutlich besser也die Rayleighsche Auflösungsgrenze ist。he get dabei nicht um eine quantitative Verbesserung durch Kurvenanpassung bei gutem Signal-Rausch-Verhältnis, sondere um eine qualitative Verbesserung durch die Auswertung von Phasensingularitäten, die in der Umgebung einer sub-Wellenlängenstruktur im reflektierten light entsteen und in Fernfeld abgebildet werden können。实验结果表明，几何几何的先验信息与几何几何的先验信息是一致的。In diesem Vorhaben soll untersucht werden, In wieweit man autez - information verzichten kann, wennbeder Analyse weitere Parameter fbr die Auswertung herangezogen werden。Solche参数sind der Gradient der Phase des r<s:1> ckgesteuerten Feldes in der Nähe der Singularitäten and die polarization bei der Beleuchtung（线性、径向、切向）。

Ziel des Vorhabens ist es, mit einem Interferenzmikroskop im Fernfeld eine Auflösung zu erreichen, die deutlich besser als die Rayleighsche Auflösungsgrenze ist. Es geht dabei nicht um eine quantitative Verbesserung durch Kurvenanpassung bei gutem Signal-Rausch-Verhältnis, sondern um eine qualitative Verbesserung durch die Auswertung von Phasensingularitäten, die in der Umgebung einer sub-Wellenlängenstruktur im reflektierten Licht entstehen und ins Fernfeld abgebildet werden können. Experimente haben gezeigt, daß auf diese Weise eine Vermessung solch kleiner Strukturen möglich ist, wenn bereits a priori Information über die Geometrie vorliegt. In diesem Vorhaben soll untersucht werden, inwieweit man auf diese Vorab-Information verzichten kann, wenn bei der Analyse weitere Parameter für die Auswertung herangezogen werden. Solche Parameter sind der Gradient der Phase des rückgesteuerten Feldes in der Nähe der Singularitäten und die Polarisation bei der Beleuchtung (linear, radial, tangential).