Sub-Wellenlängen-Auflösung bei einem Interferenzmikroskop

在费恩费尔德，我不再需要你的帮助了，我也不再需要你了。这是一种定量的语言表达方式-。这是一个先验的信息，我们没有先验的信息。在此基础上，分析了一些重要的参数，并对其进行了分析。索尔希参数测量和偏振(线性、径向、切向)在奇异点中的相位和偏振。

Ziel des Vorhabens ist es, mit einem Interferenzmikroskop im Fernfeld eine Auflösung zu erreichen, die deutlich besser als die Rayleighsche Auflösungsgrenze ist. Es geht dabei nicht um eine quantitative Verbesserung durch Kurvenanpassung bei gutem Signal-Rausch-Verhältnis, sondern um eine qualitative Verbesserung durch die Auswertung von Phasensingularitäten, die in der Umgebung einer sub-Wellenlängenstruktur im reflektierten Licht entstehen und ins Fernfeld abgebildet werden können. Experimente haben gezeigt, daß auf diese Weise eine Vermessung solch kleiner Strukturen möglich ist, wenn bereits a priori Information über die Geometrie vorliegt. In diesem Vorhaben soll untersucht werden, inwieweit man auf diese Vorab-Information verzichten kann, wenn bei der Analyse weitere Parameter für die Auswertung herangezogen werden. Solche Parameter sind der Gradient der Phase des rückgesteuerten Feldes in der Nähe der Singularitäten und die Polarisation bei der Beleuchtung (linear, radial, tangential).