Sub-Wellenlängen-Auflösung bei einem Interferenzmikroskop

干涉显微镜的亚波长分辨率

• 批准号: 5171130
• 负责人: Professor Dr. Gerd Leuchs
• 金额: --
• 依托单位: Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5171130?language=en
• 关键词: Sub; Wellenl; ngen; Aufl; sung

Ziel des Vorhabens ist es, mit einem Interferenzmikroskop im Fernfeld eine Auflösung zu erreichen, die deutlich besser als die Rayleighsche Auflösungsgrenze ist. Es geht dabei nicht um eine quantitative Verbesserung durch Kurvenanpassung bei gutem Signal-Rausch-Verhältnis, sondern um eine qualitative Verbesserung durch die Auswertung von Phasensingularitäten, die in der Umgebung einer sub-Wellenlängenstruktur im reflektierten Licht entstehen und ins Fernfeld abgebildet werden können. Experimente haben gezeigt, daß auf diese Weise eine Vermessung solch kleiner Strukturen möglich ist, wenn bereits a priori Information über die Geometrie vorliegt. In diesem Vorhaben soll untersucht werden, inwieweit man auf diese Vorab-Information verzichten kann, wenn bei der Analyse weitere Parameter für die Auswertung herangezogen werden. Solche Parameter sind der Gradient der Phase des rückgesteuerten Feldes in der Nähe der Singularitäten und die Polarisation bei der Beleuchtung (linear, radial, tangential).

这是一个前体，在芬菲尔德有一个干扰的微通道，它可以使德国的瑞利加速器更好。它不是通过信号-Rausch-Verhältnis的Kurvenanpassung进行定量的Verbesserung，而是通过相位单一化的Auswertung进行定性的Verbesserung，在反射光中的Umgebung子Wellenlängenstruktur和在Fernfeld abgebildet韦尔登können中。实验已经完成，如果有先验的几何信息，则可以通过测量获得更小的结构。在这种情况下，为了解决韦尔登的问题，人们可以通过分析用于韦尔登的外部参数来了解这些沃登信息。求解参数为奇异阶和非奇异阶极化（线性、径向、切向）中的相位梯度。